[實(shí)用新型]一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922422436.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211018775U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝尚平;吳延劍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珠海東精大電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H03H3/02
• 分類號(hào): H03H3/02;G05D27/02;C01B21/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：它包括依次相連接的空壓機(jī)（1）、第一儲(chǔ)氣罐（2）、冷干機(jī)（3）、微熱再生吸干機(jī)（4）、第二儲(chǔ)氣罐（5）、制氮組件（6）、氮?dú)鈨?chǔ)氣罐組件（7）和烤膠爐（8），所述烤膠爐（8）內(nèi)鋪設(shè)有若干個(gè)石英晶體，所述制氮組件（6）包括A塔自動(dòng)制氮機(jī)（61）和B塔自動(dòng)制氮機(jī)（62），所述A塔自動(dòng)制氮機(jī)（61）和所述B塔自動(dòng)制氮機(jī)（62）之間并聯(lián)連接，所述第二儲(chǔ)氣罐（5）與所述A塔自動(dòng)制氮機(jī)（61）之間和所述第二儲(chǔ)氣罐（5）與所述B塔自動(dòng)制氮機(jī)（62）之間均設(shè)置有第一電動(dòng)閥門（63），所述氮?dú)鈨?chǔ)氣罐組件（7）包括第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）和第二氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（72），所述第二氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（72）與所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）之間為串聯(lián)連接，所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）和所述第二氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（72）均與所述烤膠爐（8）相連接，且所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）與所述烤膠爐（8）之間和所述第二氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（72）與所述烤膠爐（8）之間均設(shè)置有流量計(jì)（73）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：所述制氮系統(tǒng)還包括MCU控制器，所述MCU控制器均與所述空壓機(jī)（1）、所述第一儲(chǔ)氣罐（2）、所述冷干機(jī)（3）、所述微熱再生吸干機(jī)（4）、所述第二儲(chǔ)氣罐（5）、所述制氮組件（6）、所述氮?dú)鈨?chǔ)氣罐組件（7）和烤膠爐（8）電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）和所述第二氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（72）容積均為3立方。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：所述流量計(jì)（73）為玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)，所述玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)的滿程為每小時(shí)150立方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）與所述A塔自動(dòng)制氮機(jī)（61）之間和所述第一氮?dú)鈨?chǔ)氣罐（71）與所述B塔自動(dòng)制氮機(jī)（62）之間均設(shè)置有第二電動(dòng)閥門（64）。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統(tǒng)，其特征在于：所述烤膠爐（8）內(nèi)設(shè)置有壓力檢測(cè)器，所述壓力檢測(cè)器與所述MCU控制器電性連接。