[實用新型]一種承載晶圓的升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922421190.5
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211578720U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪新學(xué);陶智昆
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

本實用新型公開了一種承載晶圓的升降裝置，包括：升降臺，用于承載晶圓，可上下移動，升降臺上設(shè)有貫穿升降臺的至少一第一通孔和至少一第二通孔，至少一第一通孔圍成環(huán)形，環(huán)形內(nèi)部能夠容納水平放置的晶圓，至少一第二通孔位于環(huán)形內(nèi)部；第一晶圓支撐件，位于升降臺的上表面、環(huán)形內(nèi)部；第二晶圓支撐件，通過第二通孔貫穿升降臺，且升降臺能夠沿第二晶圓支撐件上下移動；當(dāng)升降臺降落時，晶圓由第二晶圓支撐件支撐；當(dāng)升降臺升起時，晶圓由第一晶圓支撐件支撐；限位結(jié)構(gòu)，通過第一通孔貫穿升降臺，且限位結(jié)構(gòu)的上表面高于第二晶圓支撐件的上表面，升降臺能夠沿限位結(jié)構(gòu)上下移動，限位結(jié)構(gòu)環(huán)繞于晶圓的外周，用于限制晶圓的水平移動。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種承載晶圓的升降裝置。

背景技術(shù)

晶圓滴膠校準(zhǔn)裝置，包括滴膠器和校準(zhǔn)臺，主要用來在工藝晶圓上表面噴滴準(zhǔn)確重量的樹脂膠，樹脂膠的粘性比較大，滴膠器在進行滴膠的時候，有上下拉動的動作，當(dāng)膠粘性的拉力大于晶圓的重力時，晶圓被微微拉起，在晶圓回落的過程中，晶圓存在水平移位的現(xiàn)象。參考圖1，為一實例中晶圓滴膠校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，晶圓2發(fā)生了向右側(cè)的偏移，偏移量L如晶圓2左側(cè)的虛線框所示。

因此，如何防止晶圓在滴膠的過程中發(fā)生水平移動，是目前面臨的主要問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種承載晶圓的升降裝置，能夠解決晶圓在滴膠的過程中被膠拉起及回落的過程中產(chǎn)生水平移動的問題。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種承載晶圓的升降裝置，包括：

升降臺，用于承載晶圓，可上下移動，所述升降臺上設(shè)有貫穿所述升降臺的至少一第一通孔和至少一第二通孔，所述至少一第一通孔圍成環(huán)形，所述環(huán)形內(nèi)部能夠容納水平放置的一片晶圓，所述至少一第二通孔位于所述環(huán)形內(nèi)部；

第一晶圓支撐件，位于所述升降臺的上表面、所述環(huán)形內(nèi)部；

第二晶圓支撐件，通過所述第二通孔貫穿所述升降臺，且所述升降臺能夠沿所述第二晶圓支撐件上下移動；

當(dāng)所述升降臺降落時，所述第一晶圓支撐件的上表面高于所述第二晶圓支撐件的上表面，所述晶圓由所述第一晶圓支撐件支撐；

當(dāng)所述升降臺升起時，所述第一晶圓支撐件的上表面低于所述第二晶圓支撐件的上表面，所述晶圓由所述第二晶圓支撐件支撐；

限位結(jié)構(gòu)，通過所述第一通孔貫穿所述升降臺，且所述限位結(jié)構(gòu)的上表面高于所述第二晶圓支撐件的上表面，所述升降臺能夠沿所述限位結(jié)構(gòu)上下移動，所述限位結(jié)構(gòu)環(huán)繞于所述晶圓的外周，用于限制所述晶圓的水平移動。

本方法的有益效果在于，在晶圓的外周設(shè)置限制晶圓水平移動的限位結(jié)構(gòu)，升降臺在升降的過程中，限位結(jié)構(gòu)的頂面始終高于第二晶圓支撐件的頂面，保證晶圓的外緣在滴膠的過程中始終被限位結(jié)構(gòu)包圍，以限制晶圓在水平方向上的移動。

進一步地，在限位結(jié)構(gòu)的外周設(shè)置非剛性材料的保護套，一方面保護限位結(jié)構(gòu)，另一方面限位結(jié)構(gòu)不與晶圓直接接觸，避免晶圓與限位結(jié)構(gòu)相接觸時，晶圓產(chǎn)生破裂的風(fēng)險。

附圖說明

通過結(jié)合附圖對本實用新型示例性實施例進行更詳細(xì)的描述，本實用新型的上述以及其它目的、特征和優(yōu)勢將變得更加明顯，在本實用新型示例性實施例中，相同的參考標(biāo)號通常代表相同部件。

圖1示出了一實例中一種承載晶圓的升降裝置的示意圖。

圖2示出了根據(jù)本實用新型一實施例的一種承載晶圓的升降裝置的側(cè)視圖。

圖3為圖2的俯視圖。

附圖標(biāo)記說明：