[實用新型]一種濾波器封裝結構有效
| 申請號： | 201922413574.2 | 申請日： | 2019-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN211182199U | 公開（公告）日： | 2020-08-04 |
| 發明（設計）人： | 陳天放 | 申請（專利權）人： | 華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/522 | 分類號： | H01L23/522;H01L23/48 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 周衛賽 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濾波器 封裝 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種濾波器封裝結構，其特征在于，包括：
硅基板；
貫穿所述硅基板的第一預設數量的硅通孔電容及第二預設數量的硅通孔電感，所述硅通孔電容包括：內層電容軸心導電柱、外層電容空心導電柱及電容硅氧化層；
位于所述硅基板第一表面的第一連接層、第二連接層，及位于所述硅基板第二表面的第三連接層，其中：
所述第一連接層用于連通所述內層電容軸心導電柱與硅通孔電感導電柱；
所述第二連接層用于連通各個硅通孔電容的外層電容空心導電柱；
所述第三連接層用于連通硅通孔電感的各個導電柱。
2.根據權利要求1所述的濾波器封裝結構，其特征在于，所述第一連接層、第二連接層及第三連接層均包括重布線層及硅氧化層，所述重布線層嵌于所述硅氧化層內。
3.根據權利要求1所述的濾波器封裝結構，其特征在于，所述內層電容軸心導電柱與外層電容空心導電柱的中心軸線重合。
4.根據權利要求1所述的濾波器封裝結構，其特征在于，所述第二連接層位于所述第一連接層與所述硅基板之間。
5.根據權利要求4所述的濾波器封裝結構，其特征在于，所述硅通孔電感通過第一連接層、硅通孔電感導電柱與第三連接層形成三維立體結構。
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