[實用新型]一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統

有效

• 申請號: 201922389464.7
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211017024U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 夏俊東;莫科偉;譚金輝;康雷雷
• 申請（專利權）人: 吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型是一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其結構包括擺動軸和安裝在擺動軸頂端的刷臂，刷臂傳動連接刷洗本體，刷洗本體下方為真空吸盤，真空吸盤底面連接旋轉馬達活動端，真空吸盤頂面上放置晶元，控制器分別與刷臂、刷洗本體及旋轉馬達信號連接。本實用新型的優點：結構合計合理，工作時，電磁線圈通過控制器得電產生磁力，稱重模塊獲取壓力，并反饋給控制器，控制器通過預設算法控制電磁線圈磁體電流強度，使刷頭得到一個設定的壓力。實現有效對電磁式晶元刷洗機刷洗壓力進行穩定控制，提高了生產質量，改善了電磁式晶元刷洗機的使用效果。

技術領域

本實用新型涉及的是一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統。

背景技術

在半導體晶元生產過程中，無法避免會有生產環境中的小灰塵或是工藝反應物掉落在晶元上，如果不及時清除，會使晶元良率降低，影響產品質量穩定性。

現有技術中一般使用的清除方法是通過低發塵的發泡刷子在晶元表面刷洗去掉灰塵。這種清除方法中，刷頭壓力對刷洗效果的影響尤為重要，壓力過小會導致清除不干凈，壓力過大則會使晶元表面產生刮傷?，F有技術無法有效對其壓力進行有效穩定控制，影響生產使用效果。

實用新型內容

本實用新型提出的是一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其目的旨在克服現有技術存在的上述缺陷，實現有效對電磁式晶元刷洗機刷洗壓力進行穩定控制，提高生產質量。

本實用新型的技術解決方案：一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其結構包括擺動軸和安裝在擺動軸頂端的刷臂，刷臂傳動連接刷洗本體，刷洗本體下方為真空吸盤，真空吸盤底面連接旋轉馬達活動端，真空吸盤頂面上放置晶元，控制器分別與刷臂、刷洗本體及旋轉馬達信號連接。

優選的，所述的刷臂包括安裝在刷臂本體上的稱重模塊、馬達、同步帶和同步輪，刷洗本體包括旋轉軸、電磁線圈、永磁體、浮動體和刷頭，旋轉軸頂端連接一同步輪，該同步輪通過同步帶連接另一同步輪，另一同步輪連接馬達輸出端，浮動體連接旋轉軸底端，刷頭通過螺牙連接浮動體，電磁線圈安裝在旋轉軸外側，永磁體安裝在浮動體上，控制器分別與刷臂中的稱重模塊和馬達、及刷洗本體中的電磁線圈連接。

優選的，所述的浮動體通過花鍵接頭連接旋轉軸底端。

本實用新型的優點：結構合計合理，工作時，電磁線圈通過控制器得電產生磁力，稱重模塊獲取壓力，并反饋給控制器，控制器通過預設算法控制電磁線圈磁體電流強度，使刷頭得到一個設定的壓力。實現有效對電磁式晶元刷洗機刷洗壓力進行穩定控制，提高了生產質量，改善了電磁式晶元刷洗機的使用效果。

附圖說明

圖1是本實用新型電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統的結構示意圖。

圖中的1是擺動軸、2是稱重模塊、3是馬達、4是同步帶、5是刷臂、6是同步輪、7是旋轉軸、8是刷洗本體、9是電磁線圈、10是花鍵接頭、11是控制器、12是永磁體、13是浮動體、14是刷頭、15是晶元、16是真空吸盤、17是旋轉馬達。

具體實施方式

下面結合實施例和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示，一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其結構包括擺動軸1和安裝在擺動軸1頂端的刷臂5，刷臂5傳動連接刷洗本體8，刷洗本體8下方為真空吸盤16，真空吸盤16底面連接旋轉馬達17活動端，真空吸盤16頂面上放置晶元15，控制器11分別與刷臂5、刷洗本體8及旋轉馬達17信號連接。