[實用新型]一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統

有效

• 申請號: 201922389464.7
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211017024U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 夏俊東;莫科偉;譚金輝;康雷雷
• 申請（專利權）人: 吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其特征包括擺動軸(1)和安裝在擺動軸(1)頂端的刷臂(5)，刷臂(5)傳動連接刷洗本體(8)，刷洗本體(8)下方為真空吸盤(16)，真空吸盤(16)底面連接旋轉馬達(17)活動端，真空吸盤(16)頂面上放置晶元(15)，控制器(11)分別與刷臂(5)、刷洗本體(8)及旋轉馬達(17)信號連接。

2.如權利要求1所述的一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其特征是所述的刷臂(5)包括安裝在刷臂本體上的稱重模塊(2)、馬達(3)、同步帶(4)和同步輪(6)，刷洗本體(8)包括旋轉軸(7)、電磁線圈(9)、永磁體(12)、浮動體(13)和刷頭(14)，旋轉軸(7)頂端連接一同步輪(6)，該同步輪(6)通過同步帶(4)連接另一同步輪(6)，另一同步輪(6)連接馬達(3)輸出端，浮動體(13)連接旋轉軸(7)底端，刷頭(14)通過螺牙連接浮動體(13)，電磁線圈(9)安裝在旋轉軸(7)外側，永磁體(12)安裝在浮動體(13)上，控制器(11)分別與刷臂(5)中的稱重模塊(2)和馬達(3)、及刷洗本體(8)中的電磁線圈(9)連接。

3.如權利要求2所述的一種電磁式晶元刷洗機刷洗壓力控制系統，其特征是所述的浮動體(13)通過花鍵接頭(10)連接旋轉軸(7)底端。