[實用新型]一種多晶硅生產廢氣處理系統

有效

• 申請號: 201922389219.6
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN212262801U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 彭中;袁中華;游書華
• 申請（專利權）人: 內蒙古通威高純晶硅有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 劉新雷

本實用新型公開了一種多晶硅生產廢氣處理系統，包括：與廢氣排出管道連接的第一廢氣緩沖罐；與所述第一廢氣緩沖罐的輸出端連接的吸附塔；其中，所述吸附塔內設置有吸附柱，所述吸附柱中填充有活性炭，所述吸附塔通過所述活性炭將所述廢氣排出管道輸出廢氣中的氯硅烷吸附。通過采用吸附塔中填充活性炭吸收廢氣中的硅烷，替換傳統的廢氣淋洗處理，由于廢氣必須全部通過活性炭，使得能夠充分接觸充分被吸收，在保證廢氣百分百達標排放的同時，由于整個處理過程采用的是物理處理法，不會發生化學反應，減少了的熱量的產生以及化學藥品的投入以及后續對含氯廢水的處理，被吸附的硅烷還能夠被回收，增加收益的同時降低了環境風險。

技術領域

本實用新型涉及廢氣處理技術領域，更具體地說，涉及一種多晶硅生產廢氣處理系統。

背景技術

由于光伏技術的不斷發展，采用多晶硅電池發電由于其成本低、效率相對較高而所占的市場份額越來越大。在發電效率的提高限制較多的同時，低成本的多晶硅也是降低光伏電池的一個重要途徑。

而在多晶硅生產過程中會產生大量的廢氣，產生的廢氣組分主要有氮氣、氫氣、四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅、氯化氫和微量硅粉。目前，多晶硅行業廢氣處理的方式主要通過淋洗的方式處理，利用水與氯硅烷反應，同時吸收氯化氫，將廢氣中的有害氣體出去，剩余的氮氣和氫氣高點排放至大氣。

但是，對廢氣采用淋洗的方式處理，存在以下問題：

1.廢氣中的氯硅烷無法回收，造成物料浪費；

2.淋洗后的廢水還需下游的污水處理和高鹽廢水處理，增加水處理成本；

3.廢氣采用淋洗的方式，無法做到有害物100％除去，很難做到達標排放。

實用新型內容

本實用新型提供了一種多晶硅生產廢氣處理系統，實現廢氣排放達標，降低廢氣處理成本。

為解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種多晶硅生產廢氣處理系統，包括：

與廢氣排出管道連接的第一廢氣緩沖罐；

與所述第一廢氣緩沖罐的輸出端連接的吸附塔；

其中，所述吸附塔內設置有吸附柱，所述吸附柱中填充有活性炭，所述吸附塔通過所述活性炭將所述廢氣排出管道輸出廢氣中的氯硅烷吸附；

還包括設置在所述第一廢氣緩沖罐與所述吸附塔的輸入端之間的廢氣壓縮機，用于將所述第一廢氣緩沖罐加壓到預定壓力之后輸出到所述吸附塔；

還包括設置在所述廢氣壓縮機與所述吸附塔的輸入端之間的第二廢氣緩沖罐；還包括設置在所述第一廢氣緩沖罐與所述第二廢氣緩沖罐之間的調壓閥，用于調節所述第一廢氣緩沖罐內的氣壓。

其中，還包括設置在所述廢氣壓縮機與所述第二廢氣緩沖罐之間的第一廢氣冷卻器，用于將所述廢氣壓縮機輸出的廢氣冷卻后輸出至所述第二廢氣緩沖罐。

其中，還包括設置在所述第二廢氣緩沖罐與所述吸附塔之間的第二廢氣冷卻器，用于將所述第二廢氣緩沖罐輸出的廢氣進行冷卻后輸出到所述吸附塔。

其中，還包括與所述吸附塔并接的備用吸附塔。

其中，還包括與所述第一廢氣冷卻器、第二廢氣冷卻器連接的冷凝液緩沖罐。

其中，還包括與所述冷凝液緩沖罐通過冷凝液輸送泵、液位調節閥連接的精餾裝置，所述冷凝液輸送泵用于將所述冷凝液緩沖罐中的冷凝液輸送到所述精餾裝置，所述液位調節閥用于控制所述精餾裝置流向所述冷凝液緩沖罐的冷凝液流量控制所述冷凝液緩沖罐的液位。

其中，還包括與所述備用吸附塔、所述吸附塔連接的解析裝置，用于控制所述備用吸附塔、所述吸附塔的工作狀態，并將處于非工作狀態的所述備用吸附塔或所述吸附塔進行解析，輸出解析氣體并通過尾氣回收裝置回收。