[實用新型]一種多晶硅生產廢氣處理系統

有效

• 申請號: 201922389219.6
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN212262801U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 彭中;袁中華;游書華
• 申請（專利權）人: 內蒙古通威高純晶硅有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 劉新雷

1.一種多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，包括：

與廢氣排出管道連接的第一廢氣緩沖罐；

與所述第一廢氣緩沖罐的輸出端連接的吸附塔；

其中，所述吸附塔內設置有吸附柱，所述吸附柱中填充有活性炭，所述吸附塔通過所述活性炭將所述廢氣排出管道輸出廢氣中的氯硅烷吸附；

還包括設置在所述第一廢氣緩沖罐與所述吸附塔的輸入端之間的廢氣壓縮機，用于將所述第一廢氣緩沖罐加壓到預定壓力之后輸出到所述吸附塔；

還包括設置在所述廢氣壓縮機與所述吸附塔的輸入端之間的第二廢氣緩沖罐；還包括設置在所述第一廢氣緩沖罐與所述第二廢氣緩沖罐之間的調壓閥，用于調節所述第一廢氣緩沖罐內的氣壓。

2.如權利要求1所述多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，還包括設置在所述廢氣壓縮機與所述第二廢氣緩沖罐之間的第一廢氣冷卻器，用于將所述廢氣壓縮機輸出的廢氣冷卻后輸出至所述第二廢氣緩沖罐。

3.如權利要求2所述多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，還包括設置在所述第二廢氣緩沖罐與所述吸附塔之間的第二廢氣冷卻器，用于將所述第二廢氣緩沖罐輸出的廢氣進行冷卻后輸出到所述吸附塔。

4.如權利要求3所述多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，還包括與所述吸附塔并接的備用吸附塔。

5.如權利要求4所述多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，還包括與所述第一廢氣冷卻器、第二廢氣冷卻器連接的冷凝液緩沖罐。

6.如權利要求5所述多晶硅生產廢氣處理系統，其特征在于，還包括與所述冷凝液緩沖罐通過冷凝液輸送泵、液位調節閥連接的精餾裝置，所述冷凝液輸送泵用于將所述冷凝液緩沖罐中的冷凝液輸送到所述精餾裝置，所述液位調節閥用于控制所述精餾裝置流向所述冷凝液緩沖罐的冷凝液流量控制所述冷凝液緩沖罐的液位。