[實用新型]一種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置

有效

• 申請號: 201922388200.X
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211595780U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 盛立遠
• 申請（專利權）人: 北京大學深圳研究院
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 萬永泉

本實用新型公開了一種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置，包括基座及主轉軸，主轉軸上固定設置有承載架，承載架一端設置有可徑向轉動的第一中間轉軸及第一絲輥轉軸，承載架另一端設置有可徑向轉動的第二中間轉軸及第二絲輥轉軸，第一中間轉軸外端與基座之間設置有第一齒輪傳動組件，第二中間轉軸外端與基座之間設置有第二齒輪傳動組件，第一中間轉軸與第一絲輥轉軸之間設置有第三齒輪傳動組件，第二中間轉軸與第二絲輥轉軸之間設置有第四齒輪傳動組件，第一絲輥轉軸上設置有第一絲輥，第二絲輥轉軸上設置有第二絲輥。該種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置具有結構簡單、性能穩定可靠、加工效率高、加工質量好、絲材表面涂層一致性高等優點。

技術領域

本實用新型涉及一種表面改性領域用輔助設備，特別是一種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置。

背景技術

表面改性技術是利用物理沉積、化學沉積、機械噴涂等手段將特定涂層材料覆蓋到零部件表面，從而使零部件表面獲得涂層材料的性能，進而提高零部件的耐腐蝕、耐磨損、耐高溫、耐氧化等性能的一種技術。物理氣相沉積是在真空條件下，采用物理方法，將材料源表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體(或等離子體)過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術，主要方法有，真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜，及分子束外延等。磁控濺射鍍膜技術是物理氣相沉積技術中很成熟且應用非常廣泛的一種表面涂層制備技術，其具有沉積速度快、基材溫升低、濺射靶材種類多等優勢，所沉積的薄膜具有純度高、損傷小、致密性好、均勻性好、附著力強、工藝重復性好等系列優點。然而，在現有技術中，針對超細絲材的表面磁控濺射沉積涂層的加工過程中存在設備結構復雜、設備成本高的問題，且難以實現絲材長時間連續涂層沉積加工，絲材表面的涂層一致性差、加工效率低下。所述種種問題嚴重影響了本領域進一步向前發展和推廣應用。

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種新的技術方案以解決現存的技術問題。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置，解決了現有技術存在的結構復雜、實施成本高、加工效率低下、絲材表面涂層一致性差、加工質量低下等技術缺陷。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種絲材表面涂層磁控濺射連續沉積用裝置，包括基座及主轉軸，所述主轉軸上固定設置有承載架，所述承載架一端設置有可徑向轉動的第一中間轉軸及第一絲輥轉軸，承載架另一端設置有可徑向轉動的第二中間轉軸及第二絲輥轉軸，所述第一中間轉軸外端與基座之間設置有第一齒輪傳動組件，所述第二中間轉軸外端與基座之間設置有第二齒輪傳動組件，第一中間轉軸與第一絲輥轉軸之間設置有第三齒輪傳動組件，第二中間轉軸與第二絲輥轉軸之間設置有第四齒輪傳動組件，所述第一絲輥轉軸上設置有第一絲輥，所述第二絲輥轉軸上設置有第二絲輥。

作為上述技術方案的改進，所述第一中間轉軸通過第一轉軸軸承安裝在承載架上，所述承載架上開設有用于安裝所述第一轉軸軸承的第一軸承階梯安裝位，所述第一轉軸軸承安裝在所述第一軸承階梯安裝位后，第一轉軸軸承的外圈固定于第一軸承階梯安裝位中，第一轉軸軸承內圈與第一中間轉軸側壁固定連接，所述承載架側部設置有用于固定第一轉軸軸承的第一軸承壓板，所述第一軸承壓板通過第一軸承壓板螺栓固定在承載架側部，第一軸承壓板的內沿壓緊在第一轉軸軸承的外圈并將第一轉軸軸承限位在第一軸承階梯安裝位中；

作為上述技術方案的進一步改進，所述第二中間轉軸通過第二轉軸軸承安裝在承載架上，所述承載架上開設有用于安裝所述第二轉軸軸承的第二軸承階梯安裝位，所述第二轉軸軸承安裝在所述第二軸承階梯安裝位后，第二轉軸軸承的外圈固定于第二軸承階梯安裝位中，第二轉軸軸承內圈與第二中間轉軸側壁固定連接，所述承載架側部設置有用于固定第二轉軸軸承的第二軸承壓板，所述第二軸承壓板通過第二軸承壓板螺栓固定在承載架側部，第二軸承壓板的內沿壓緊在第二轉軸軸承的外圈并將第二轉軸軸承限位在第二軸承階梯安裝位中。