[實用新型]一種絲材表面涂層磁控濺射連續(xù)沉積用裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922388200.X
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211595780U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設計）人: 盛立遠
• 申請（專利權(quán)）人: 北京大學深圳研究院
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 萬永泉

1.一種絲材表面涂層磁控濺射連續(xù)沉積用裝置，其特征在于：包括基座(1)及主轉(zhuǎn)軸(11)，所述主轉(zhuǎn)軸(11)上固定設置有承載架(2)，所述承載架(2)一端設置有可徑向轉(zhuǎn)動的第一中間轉(zhuǎn)軸(31)及第一絲輥轉(zhuǎn)軸(41)，承載架(2)另一端設置有可徑向轉(zhuǎn)動的第二中間轉(zhuǎn)軸(32)及第二絲輥轉(zhuǎn)軸(42)，所述第一中間轉(zhuǎn)軸(31)外端與基座(1)之間設置有第一齒輪傳動組件，所述第二中間轉(zhuǎn)軸(32)外端與基座(1)之間設置有第二齒輪傳動組件，第一中間轉(zhuǎn)軸(31)與第一絲輥轉(zhuǎn)軸(41)之間設置有第三齒輪傳動組件，第二中間轉(zhuǎn)軸(32)與第二絲輥轉(zhuǎn)軸(42)之間設置有第四齒輪傳動組件，所述第一絲輥轉(zhuǎn)軸(41)上設置有第一絲輥(51)，所述第二絲輥轉(zhuǎn)軸(42)上設置有第二絲輥(52)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種絲材表面涂層磁控濺射連續(xù)沉積用裝置，其特征在于：所述第一中間轉(zhuǎn)軸(31)通過第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)安裝在承載架(2)上，所述承載架(2)上開設有用于安裝所述第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)的第一軸承階梯安裝位(312)，所述第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)安裝在所述第一軸承階梯安裝位(312)后，第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)的外圈固定于第一軸承階梯安裝位(312)中，第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)內(nèi)圈與第一中間轉(zhuǎn)軸(31)側(cè)壁固定連接，所述承載架(2)側(cè)部設置有用于固定第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)的第一軸承壓板(313)，所述第一軸承壓板(313)通過第一軸承壓板螺栓(314)固定在承載架(2)側(cè)部，第一軸承壓板(313)的內(nèi)沿壓緊在第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)的外圈并將第一轉(zhuǎn)軸軸承(311)限位在第一軸承階梯安裝位(312)中；

所述第二中間轉(zhuǎn)軸(32)通過第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)安裝在承載架(2)上，所述承載架(2)上開設有用于安裝所述第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)的第二軸承階梯安裝位(322)，所述第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)安裝在所述第二軸承階梯安裝位(322)后，第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)的外圈固定于第二軸承階梯安裝位(322)中，第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)內(nèi)圈與第二中間轉(zhuǎn)軸(32)側(cè)壁固定連接，所述承載架(2)側(cè)部設置有用于固定第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)的第二軸承壓板(323)，所述第二軸承壓板(323)通過第二軸承壓板螺栓(324)固定在承載架(2)側(cè)部，第二軸承壓板(323)的內(nèi)沿壓緊在第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)的外圈并將第二轉(zhuǎn)軸軸承(321)限位在第二軸承階梯安裝位(322)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種絲材表面涂層磁控濺射連續(xù)沉積用裝置，其特征在于：所述承載架(2)上部向內(nèi)延伸有承載架第一上折板(21)及承載架第一下折板(23)，所述承載架第一上折板(21)上開設有第一絲輥軸上安裝孔，所述第一絲輥軸上安裝孔中設置有第一絲輥軸上軸承(411)，所述第一絲輥轉(zhuǎn)軸(41)的上端固定安裝在第一絲輥軸上軸承(411)的內(nèi)圈，所述承載架第一上折板(21)上壁設置有第一上蓋板(412)，所述第一上蓋板(412)通過第一上蓋板固定螺栓(413)固定在承載架第一上折板(21)上壁；所述承載架第一下折板(23)上開設有第一絲輥軸下安裝孔，所述第一絲輥軸下安裝孔中設置有第一絲輥軸下軸承(414)，所述第一絲輥轉(zhuǎn)軸(41)的下端固定安裝在第一絲輥軸下軸承(414)的內(nèi)圈，所述承載架第一下折板(23)下壁設置有第一下蓋板(415)，所述第一下蓋板(415)通過第一下蓋板固定螺栓(416)固定在承載架第一下折板(23)下壁；

所述承載架(2)上部向內(nèi)延伸有承載架第二上折板(22)及承載架第二下折板(24)，所述承載架第二上折板(22)上開設有第二絲輥軸上安裝孔，所述第二絲輥軸上安裝孔中設置有第二絲輥軸上軸承(421)，所述第二絲輥轉(zhuǎn)軸(42)的上端固定安裝在第二絲輥軸上軸承(421)的內(nèi)圈，所述承載架第二上折板(22)上壁設置有第二上蓋板(422)，所述第二上蓋板(422)通過第二上蓋板固定螺栓(423)固定在承載架第二上折板(22)上壁；所述承載架第二下折板(24)上開設有第二絲輥軸下安裝孔，所述第二絲輥軸下安裝孔中設置有第二絲輥軸下軸承(424)，所述第二絲輥轉(zhuǎn)軸(42)的下端固定安裝在第二絲輥軸下軸承(424)的內(nèi)圈，所述承載架第二下折板(24)下壁設置有第二下蓋板(425)，所述第二下蓋板(425)通過第二下蓋板固定螺栓(426)固定在承載架第二下折板(24)下壁。