[實用新型]一種離子濺射裝置

有效

• 申請號: 201922386645.4
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211445886U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 林憲柱;王海濤
• 申請（專利權）人: 龍口博源新科金屬涂層有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 亳州速誠知識產權代理事務所(普通合伙) 34157
• 代理人: 張輝

1.一種離子濺射裝置，包括加工箱（1）、等離子發射器（3）和偏轉電磁線圈（10），所述加工箱（1）的前表面通過合頁鉸接有密封門（2），且加工箱（1）的一側固定連接有等離子發射器（3），所述加工箱（1）內部的底端固定連接有托盤（8），且加工箱（1）內部靠近托盤（8）的一側固定連接有輔助離子發射器（11），所述加工箱（1）內部靠近托盤（8）的下側固定連接有偏轉電磁線圈（10），所述托盤（8）的內部固定連接有靶材（9），其特征在于：所述加工箱（1）上表面的一側固定連接有真空泵（4），且加工箱（1）上表面的中間部位固定連接有電機（5），所述加工箱（1）的另一側滑動連接有固定箱（6），所述固定箱（6）的內部嵌入連接有惰性氣體罐（7），所述加工箱（1）內部的頂端固定連接有固定盒（14），所述固定盒（14）的下表面滑動連接有夾持器（13）。

2.根據權利要求1所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述電機（5）位于固定盒（14）內部的一端固定連接有固定齒盤（12），所述固定盒（14）的內壁固定連接有卡齒，所述夾持器（13）頂端與固定盒（14）和固定齒盤（12）嚙合連接。

3.根據權利要求1所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述加工箱（1）側面與惰性氣體罐（7）連接的部位固定連接有連接管（101），且加工箱（1）側面靠近連接管（101）的下側固定連接有限位桿（18），所述固定箱（6）的底端滑動連接在限位桿（18）的外側。

4.根據權利要求3所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述加工箱（1）側面靠近限位桿（18）的下側固定連接有固定管（16），所述固定管（16）的外側滑動連接有滑動管（15），且固定管（16）與滑動管（15）之間固定連接有復位彈簧（17），所述滑動管（15）的底端與固定箱（6）的下表面固定連接。

5.根據權利要求4所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述固定箱（6）的上表面設置有凸起部位，所述惰性氣體罐（7）的下表面開設有與固定箱（6）凸起部位對應的凹陷部位，且惰性氣體罐（7）的出氣部位嵌入在連接管（101）的內部。

6.根據權利要求5所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述連接管（101）的內部固定連接有第一連通管（102），且連接管（101）內部靠近第一連通管（102）的一側粘附有第一密封瓣膜（103），所述惰性氣體罐（7）出氣部位的內部固定連接有第二連通管（71），所述第二連通管（71）的內部粘附有第二密封瓣膜（72）。

7.根據權利要求6所述的一種離子濺射裝置，其特征在于：所述連接管（101）的內直徑與惰性氣體罐（7）出氣部位的外直徑相同，所述第二連通管（71）的內直徑與第一連通管（102）的外直徑相同。