[實(shí)用新型]一種超高真空全金屬閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922370922.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211738037U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳本富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川宇天真空科技有限公司
• 主分類號(hào): F16K1/00
• 分類號(hào): F16K1/00;F16K51/02;F16K27/02
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種超高真空全金屬閥，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、焊接波紋管、密封墊、第一密封法蘭、第二密封法蘭和壓力彈簧；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與焊接波紋管連接；所述焊接波紋管與密封墊連接；所述第一密封法蘭設(shè)置在第二密封法蘭下方等。本實(shí)用新型解決了高溫下，或者低溫時(shí)，存在氣密性差的問(wèn)題，能在高溫300度，低溫正?200度正常使用，氣密性好漏氣率小，閥門(mén)幾乎無(wú)需維護(hù)，可靠性高，可滿足從大氣壓到低于10?11torr(mbar)的真空密封。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及金屬閥技術(shù)領(lǐng)域，更為具體地，涉及一種超高真空全金屬閥。

背景技術(shù)

全金屬真空閥門(mén)是真空系統(tǒng)的重要元件。但是，在現(xiàn)有技術(shù)中，一般閥門(mén)密封結(jié)構(gòu)主要是采用橡膠墊圈密封，利用閥板與閥座間壓緊橡膠墊圈連接，通常會(huì)將橡膠墊的高度壓縮比控制在15％以上，以達(dá)到漏氣率小于1.33×10-7Pa·L/s·cFn的使用要求。

但是，這種技術(shù)在高溫下，或者低溫時(shí)，會(huì)存在氣密性較差，漏氣率高，且閥門(mén)需要經(jīng)常維護(hù)，養(yǎng)護(hù)成本高等問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種超高真空全金屬閥，解決了高溫下，或者低溫時(shí)，存在氣密性差的問(wèn)題，能在高溫300度，低溫正-200度正常使用，氣密性好漏氣率小，閥門(mén)幾乎無(wú)需維護(hù)，可靠性高，可滿足從大氣壓到低于10-11torr(mbar)的真空密封。

本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的：

一種超高真空全金屬閥，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、焊接波紋管、密封墊、第一密封法蘭、第二密封法蘭和壓力彈簧；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與焊接波紋管連接；所述焊接波紋管與密封墊連接；所述第一密封法蘭設(shè)置在第二密封法蘭下方。

進(jìn)一步的，所述密封墊包括高真空金屬密封墊。

進(jìn)一步的，所述第一密封法蘭包括CF法蘭。

進(jìn)一步的，所述第二密封法蘭包括CF法蘭。

進(jìn)一步的，所述第一密封法蘭包括CF真空法蘭。

進(jìn)一步的，所述第二密封法蘭包括CF真空法蘭。

本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)本實(shí)用新型通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、焊接波紋管、密封墊、第一密封法蘭、第二密封法蘭和壓力彈簧等，解決了高溫下，或者低溫時(shí)，存在氣密性差的問(wèn)題，能在高溫300度，低溫正-200度正常使用，氣密性好漏氣率小，閥門(mén)幾乎無(wú)需維護(hù)，可靠性高，可滿足從大氣壓到低于10-11torr(mbar)的真空密封。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的第一結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的第二結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的第三結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1-旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，2-焊接波紋管，3-密封墊，4-第一密封法蘭，5-第二密封法蘭，6-壓力彈簧。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖進(jìn)一步詳細(xì)描述本實(shí)用新型的技術(shù)方案，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述。本說(shuō)明書(shū)(包括任何附加權(quán)利要求、摘要和附圖)中公開(kāi)的任一特征，除非特別敘述，均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換。即，除非特別敘述，每個(gè)特征只是一系列等效或類似特征中的一個(gè)例子而已。