[實(shí)用新型]一種超高真空全金屬閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922370922.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211738037U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳本富
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 四川宇天真空科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F16K1/00
• 分類(lèi)號(hào): F16K1/00;F16K51/02;F16K27/02
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種超高真空全金屬閥，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(1)、焊接波紋管(2)、密封墊(3)、第一密封法蘭(4)、第二密封法蘭(5)和壓力彈簧(6)；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(1)與焊接波紋管(2)連接；所述焊接波紋管(2)與密封墊(3)連接；所述第一密封法蘭(4)設(shè)置在第二密封法蘭(5)下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高真空全金屬閥，其特征在于，所述密封墊(3)包括高真空金屬密封墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高真空全金屬閥，其特征在于，所述第一密封法蘭(4)包括CF法蘭。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高真空全金屬閥，其特征在于，所述第二密封法蘭(5)包括CF法蘭。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超高真空全金屬閥，其特征在于，所述第一密封法蘭(4)包括CF真空法蘭。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種超高真空全金屬閥，其特征在于，所述第二密封法蘭(5)包括CF真空法蘭。