[實用新型]成膜裝置

有效

• 申請號: 201922370400.2
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211771524U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 山根徹;小川雄太
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

1.一種成膜裝置，所述成膜裝置通過磁鐵吸附掩模而將掩模固定在基板上，經由所述掩模對所述基板進行成膜，其特征在于，

所述成膜裝置具備磁力施加機構，所述磁力施加機構包括：

磁軛板；

磁鐵，所述磁鐵安裝在所述磁軛板的朝向蒸發源側的第一面上，用于隔著所述基板對掩模施加磁力；

框架，所述框架設置在所述磁軛板的與所述第一面相反一側的第二面上，在所述框架設置有用于調整所述磁軛板相對于所述基板的傾斜的傾斜調整機構。

2.根據權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于：

所述框架包括多個相連的肋部。

3.根據權利要求2所述的成膜裝置，其特征在于：

所述肋部為角鋼結構，

所述角鋼結構包括垂直于所述磁軛板的第一板和平行于所述磁軛板的第二板。

4.根據權利要求3所述的成膜裝置，其特征在于：

所述肋部包括構成所述框架的外框的外肋部。

5.根據權利要求4所述的成膜裝置，其特征在于：

所述肋部還包括：

多條第一主內肋部，所述第一主內肋部垂直于所述框架的長邊方向，兩端連接于所述外肋部；

多條第二主內肋部，所述第二主內肋部平行于所述框架的長邊方向，兩端連接于所述外肋部；以及

連接部，所述連接部垂直于所述框架的長邊方向，其兩端分別連接于彼此平行且靠近的外肋部和第二主內肋部。

6.根據權利要求5所述的成膜裝置，其特征在于：

所述肋部還包括：

多條第一副內肋部，所述第一副內肋部垂直于所述框架的長邊方向，兩端分別連接于所述第二主內肋部；

多條第二副內肋部，所述第二副內肋部平行于所述框架的長邊方向，兩端分別連接于所述第一主內肋部。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

傾斜調整機構包括：

固定塊，固定至所述框架，所述固定塊的至少一部分相對于所述框架朝向所述磁軛板突出，所述固定塊設有垂直于所述磁軛板的螺紋孔；

調整柱，所述調整柱的外徑設有螺紋，以接合所述固定塊的螺紋孔，并形成有垂直于所述磁軛板的階梯孔；

螺母，所述螺母的內徑形成有螺紋，以接合所述調整柱的外螺紋；以及

螺釘，包括頭部和桿部，所述螺釘的桿部外徑的至少一部分設有螺紋，所述螺釘穿過所述調整柱的階梯孔接合所述磁軛板中的螺紋孔。

8.根據權利要求7所述的成膜裝置，其特征在于：

所述調整柱的階梯孔的大孔部設置成扭矩傳遞部。

9.根據權利要求4～6中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

至少在所述外肋部的四個角部設有所述傾斜調整機構。

10.根據權利要求5或6所述的成膜裝置，其特征在于：

在所述第一主內肋部與所述外肋部的交叉部設有所述傾斜調整機構。

11.根據權利要求6所述的成膜裝置，其特征在于：

在所述第一副內肋部與所述外肋部之間設有所述傾斜調整機構。

12.根據權利要求6所述的成膜裝置，其特征在于：

在所述第一副內肋部與所述第一主內肋部之間設有所述傾斜調整機構。

13.根據權利要求5所述的成膜裝置，其特征在于：

所述成膜裝置具備腔室，所述磁軛板通過所述連接部懸吊于所述腔室內。