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[實用新型]一種箱式真空鍍膜機有效

專利信息
申請號: 201922367512.2 申請日: 2019-12-25
公開(公告)號: CN212270219U 公開(公告)日: 2021-01-01
發明(設計)人: 張曹瑜;李品;呂光 申請(專利權)人: 蘇州希賢光電有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251 代理人: 胡濤
地址: 215000 江蘇省蘇州市*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 箱式 真空鍍膜
【說明書】:

實用新型公開了一種箱式真空鍍膜機包括支架、組合箱、油擴散泵和機械泵,所述支架頂部固定連接鍍膜腔,所述機械泵輸出端固定連接導管,所述導管輸出端固定連接組合箱,所述組合箱左側設有予抽蝶閥,所述組合箱右側底部固定連接儲氣罐。本實用新型通過進氣口處的氣體分子便進入一號泵內,并且自上而下的作定向流動,經過排氣口進入到儲氣罐內內壓縮儲存,此后被機械泵抽走,油蒸汽遇到水冷后被冷凝凝結,回入到一號泵底部的油槽,重新被加熱,如此循環工作,鍍膜腔是一個整體真空室,蒸發器通過由蒸發電極和蒸發源組成,蒸發源由鎢絲繞成螺旋形狀,蒸發源上面的蒸發擋板可以擋住一些奔向鍍件的雜質蒸汽分子。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜相關技術領域,具體為一種箱式真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜是一種由物理方法產生薄膜材料的技術,在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術最先用于生產光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等;后延伸到其他功能薄膜,唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表面改性等,如手表外殼鍍仿金色,機械刀具鍍膜,改變加工紅硬性,真空鍍膜技術應用在眾多領域,如平板顯示器領域內的透明電極鍍膜、家電制造領域內的塑料裝飾鍍膜以及建筑材料領域內的玻璃陶瓷裝飾鍍膜等。

一種箱式真空鍍膜機在使用的時候存在以下缺點:

1、現有真空鍍膜機的鍍膜結構簡單,鍍膜不均勻,同時也不能阻擋一些噴向鍍件上的雜質蒸汽分子;

2、現有真空鍍膜機油擴散泵外部的冷卻效果不佳,不能保證冷卻水持續供給導致擴散泵中的硅油蒸發氧化,為此,提出一種箱式真空鍍膜機。

實用新型內容

本實用新型提供一種箱式真空鍍膜機,旨在解決背景技術中專一種箱式真空鍍膜機在使用的時候,現有真空鍍膜機的鍍膜結構簡單,不能阻擋一些噴向鍍件上的雜質蒸汽分子;現有真空鍍膜機油擴散泵外部的冷卻效果不佳,不能保證冷卻水持續供給導致擴散泵中的硅油蒸發氧化的問題。

為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:包括支架、組合箱、油擴散泵和機械泵,所述支架頂部固定連接鍍膜腔,所述機械泵輸出端固定連接導管,所述導管輸出端固定連接組合箱,所述組合箱左側設有予抽蝶閥,所述組合箱右側底部固定連接儲氣罐,位于所述儲氣罐和組合箱連接處左側設有擴散泵出口閥,所述組合箱頂部通過導管和鍍膜腔固定連接,所述鍍膜腔和組合箱連接的導管中間處設有放氣閥,所述儲氣罐右側通過導管和油擴散泵連接,所述油擴散泵底部設有電爐,所述油擴散泵頂部設有高閥,所述高閥頂部設有熱偶計規管以及設置在熱偶計規管一側的電離管。

優選的,所述鍍膜腔包括蒸發源、蒸發電極、蒸發擋板和烘烤爐,所述鍍膜腔內部左側底端設有蒸發電極,所述蒸發電極內部設有蒸發源,所述蒸發電極右側設有蒸發擋板以及設置在蒸發擋板右側的轟擊棒,所述轟擊棒頂部設有工件架以及設置在工件架頂部的烘烤爐。

優選的,所述油擴散泵包括導流管、一號泵、加熱器和排氣口,所述一號泵底部設有加熱器,所述加熱器頂部設有導流管以及設置在導流管頂部的噴嘴,所述噴嘴頂部設有進氣口。

優選的,所述一號泵外側纏繞冷卻水管,所述一號泵右側固定連接排氣口。

優選的,所述鍍膜腔內部設有真空計以及設置在真空計底部的溫度計。

優選的,所述鍍膜腔頂部設有插頭。

本實用新型提供了一種箱式真空鍍膜機,具備以下有益效果:

1、本實用新型鍍膜腔內部左側底端設有蒸發電極,所述蒸發電極內部設有蒸發源,所述蒸發電極右側設有蒸發擋板以及設置在蒸發擋板右側的轟擊棒,鍍膜腔是一個整體真空室,蒸發器通過由蒸發電極和蒸發源組成,蒸發源由鎢絲繞成螺旋形狀,蒸發源上面的蒸發擋板可以擋住一些奔向鍍件的雜質蒸汽分子,放置鍍件的支架轉動,以便鍍上均勻的膜層。

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