[實用新型]一種箱式真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201922367512.2
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN212270219U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 張曹瑜;李品;呂光
• 申請（專利權）人: 蘇州希賢光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 胡濤

1.一種箱式真空鍍膜機，其特征在于：包括支架（1）、組合箱（7）、油擴散泵（10）和機械泵（13），所述支架（1）頂部固定連接鍍膜腔（3），所述機械泵（13）輸出端固定連接導管（11），所述導管（11）輸出端固定連接組合箱（7），所述組合箱（7）左側設有予抽蝶閥（14），所述組合箱（7）右側底部固定連接儲氣罐（12），位于所述儲氣罐（12）和組合箱（7）連接處左側設有擴散泵出口閥（2），所述組合箱（7）頂部通過導管（11）和鍍膜腔（3）固定連接，所述鍍膜腔（3）和組合箱（7）連接的導管（11）中間處設有放氣閥（4），所述儲氣罐（12）右側通過導管（11）和油擴散泵（10）連接，所述油擴散泵（10）底部設有電爐（9），所述油擴散泵（10）頂部設有高閥（8），所述高閥（8）頂部設有熱偶計規管（6）以及設置在熱偶計規管（6）一側的電離管（5），所述鍍膜腔（3）包括蒸發源（15）、蒸發電極（16）、蒸發擋板（17）和烘烤爐（20），所述鍍膜腔（3）內部左側底端設有蒸發電極（16），所述蒸發電極（16）內部設有蒸發源（15），所述蒸發電極（16）右側設有蒸發擋板（17）以及設置在蒸發擋板（17）右側的轟擊棒（18），所述轟擊棒（18）頂部設有工件架（19）以及設置在工件架（19）頂部的烘烤爐（20）。

2.根據權利要求1所述的一種箱式真空鍍膜機，其特征在于：所述油擴散泵（10）包括導流管（25）、一號泵（26）、加熱器（27）和排氣口（28），所述一號泵（26）底部設有加熱器（27），所述加熱器（27）頂部設有導流管（25）以及設置在導流管（25）頂部的噴嘴（23），所述噴嘴（23）頂部設有進氣口（22）。

3.根據權利要求2所述的一種箱式真空鍍膜機，其特征在于：所述一號泵（26）外側纏繞冷卻水管（24），所述一號泵（26）右側固定連接排氣口（28）。

4.根據權利要求1所述的一種箱式真空鍍膜機，其特征在于：所述鍍膜腔（3）內部設有真空計（301）以及設置在真空計（301）底部的溫度計（302）。

5.根據權利要求1所述的一種箱式真空鍍膜機，其特征在于：所述鍍膜腔（3）頂部設有插頭（21）。