[實用新型]一種干法等離子刻蝕機電極有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201922363086.5 | 申請日： | 2019-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN210897192U | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬東;李曉玲 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫小迪電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 無錫派爾特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 楊立秋 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市新*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 等離子 刻蝕 機電 | ||
1.一種干法等離子刻蝕機電極，包括用于與刻蝕腔的底部固定連接的吸氣管(1)，所述吸氣管(1)的上端設(shè)有下電極托盤(2)，其特征在于：所述下電極托盤(2)的頂部均勻開設(shè)有放置槽(3)，所述放置槽(3)的底部中部固定插接有吸嘴(4)，所述吸嘴(4)的頂部與所述放置槽(3)的底部位于同一水平位置處，所述吸嘴(4)的底部連通有通管(5)，所述下電極托盤(2)的內(nèi)部開設(shè)有真空腔(6)，且所述通管(5)的下端與所述真空腔(6)相連通，所述真空腔(6)的底部固定插接連通有所述吸氣管(1)，位于刻蝕腔外部的所述吸氣管(1)的下端前側(cè)端由上至下依次設(shè)有氣壓表(7)、進氣管(8)和第一電磁閥(9)，所述進氣管(8)上設(shè)有第二電磁閥(10)，所述吸氣管(1)的底端與真空泵(11)的輸入端相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干法等離子刻蝕機電極，其特征在于：所述下電極托盤(2)呈矩形結(jié)構(gòu)設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干法等離子刻蝕機電極，其特征在于：所述放置槽(3)呈圓形結(jié)構(gòu)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干法等離子刻蝕機電極，其特征在于：所述吸嘴(4)為耐高溫耐腐蝕吸嘴(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干法等離子刻蝕機電極，其特征在于：所述真空泵(11)、所述第一電磁閥(9)、所述第二電磁閥(10)和所述氣壓表(7)分別與刻蝕機控制端的控制器電性相連。
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