[實用新型]一種靶材出荷形式改變結構

有效

• 申請號: 201922353785.1
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211474611U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 丁靜仁;常艷超;中村晃;尤小磊;徐東起;董意男;程小明;王冬振;董常亮;高奇峰
• 申請（專利權）人: 愛發科電子材料（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16B11/00
• 分類號: F16B11/00;B25B27/14
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 豐葉

本實用新型公開了一種靶材出荷形式改變結構，包括工作臺，工作臺一端固定連接有側板，側板遠離工作臺的一端固定連接有頂板，工作臺上固定設置有上料機構和加熱機構，上料機構通過液體金屬合金能將靶材和背板粘合并帶動粘合后的靶材和背板與加熱機構接觸，加熱機構包括發熱組件和固定設置在工作臺上的固定柱，固定柱上設置有凹槽，發熱組件固定設置在凹槽內壁上，設置有發熱組件的凹槽尺寸大于背板尺寸，上料機構帶動粘合后的靶材和背板與發熱組件接觸，本實用新型的目的在于提供一種能將靶材與背板分離的靶材出荷形式改變結構。

技術領域

本實用新型涉及一種靶材出荷形式改變結構。

背景技術

靶材與背板需要人工手動拿取并將二者通過液態金屬粘合在一起，由于粘接采用的是液態金屬，高溫可避免液態金屬凝固，當背板與制品粘接后，再通過降溫，金屬凝固，從而將制品與背板粘接，現在的靶材與背板粘合在一起后利用完成后，需要對二者分離時，人工手動無法分離，從而導致不能對背板重復利用，因此對于靶材出荷形式改變結構，靶材與背板不易分離是我們要解決的問題。

實用新型內容

為克服上述缺點，本實用新型的目的在于提供一種能將靶材與背板分離的靶材出荷形式改變結構。

為了達到以上目的，本實用新型采用的技術方案是：一種靶材出荷形式改變結構，包括工作臺，工作臺一端固定連接有側板，側板遠離工作臺的一端固定連接有頂板，工作臺上固定設置有上料機構和加熱機構，上料機構通過液體金屬合金能將靶材和背板粘合并帶動粘合后的靶材和背板與加熱機構接觸，加熱機構包括發熱組件和固定設置在工作臺上的固定柱，固定柱上設置有凹槽，發熱組件固定設置在凹槽內壁上，設置有發熱組件的凹槽尺寸大于背板尺寸，上料機構帶動粘合后的靶材和背板與發熱組件接觸。

本實用新型一種靶材出荷形式改變結構的有益效果是，工作臺上設置有上料機構和加熱機構，上料機構通過液體金屬合金固化先將靶材和背板粘合在一起，再將粘合后的靶材和背板通過加熱機構進行分離，加熱機構包括發熱組件和固定設置在工作臺上的固定柱，固定柱上設置有凹槽，發熱組件固定設置在凹槽內壁上，上料機構將粘合后的靶材和背板轉移到凹槽內，靶材和背板分別和設置在凹槽內壁上不同的發熱組件接觸，發熱組件對粘合后的靶材和背板進行加熱分離，發熱組件將熱量傳導到靶材和背板上，發熱組件加熱到150℃以上高溫后，靶材上的固體金屬合金成液態，靶材和背板脫離，同時上料機構能將與背板分離的靶材帶走使其遠離凹槽，進一步實現了自動分離靶材與背板，背板位于凹槽內，人工可以將背板取走進行重復利用。

作為本實用新型的進一步改進是，上料機構包括膠料池、放置臺和升降氣缸，膠料池和放置臺均固定設置在工作臺上且均位于固定柱一側，升降氣缸通過滑動組件與頂板滑動連接，升降氣缸的伸縮桿通過固定機構與靶材連接，升降氣缸能帶動靶材依次與膠料池內的液體金屬合金、放置臺上的背板接觸，升降氣缸的伸縮桿通過固定機構與靶材連接，升降氣缸能在頂板上滑動，升降氣缸滑動膠料池到上方，升降氣缸伸縮桿帶動靶材與膠料池里的液體金屬合金接觸，靶材上粘接有液體金屬合金，升降氣缸再滑動到放置臺到上方，升降氣缸伸縮桿帶動靶材與放置臺上的背板接觸，通過液體金屬合金固化二者粘接在一起，升降氣缸再滑動到固定柱上方，升降氣缸伸縮桿帶動靶材和背板將其放入凹槽內，靶材和背板分離后，升降氣缸帶動靶材滑動，使分離的背板能夠繼續利用。其中，液體金屬合金由高強度合金、陶瓷、樹脂組成，能進一步減小液體金屬合金固化時間。

作為本實用新型的進一步改進是，固定機構包括固定板和真空吸盤，固定板與伸縮桿固定連接，固定板遠離伸縮桿的一端面設置有真空吸盤，真空吸盤連接有真空泵，真空泵固定設置在固定板側方，真空泵由控制器控制，真空吸盤在工作時將靶材牢牢吸住。

作為本實用新型的進一步改進是，滑動組件包括滑軌和滑塊，滑軌固定設置在頂板上，升降氣缸的機殼上固定設置有滑塊，滑塊帶動升降氣缸在頂板上滑動，使升降氣缸能在頂板上滑動。

作為本實用新型的進一步改進是，發熱組件為發熱片或發熱絲。

附圖說明