[實用新型]一種靶材出荷形式改變結構

有效

• 申請號: 201922353785.1
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211474611U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 丁靜仁;常艷超;中村晃;尤小磊;徐東起;董意男;程小明;王冬振;董常亮;高奇峰
• 申請（專利權）人: 愛發科電子材料（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16B11/00
• 分類號: F16B11/00;B25B27/14
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 豐葉

1.一種靶材出荷形式改變結構，包括工作臺(1)，所述工作臺(1)一端固定連接有側板(2)，所述側板(2)遠離工作臺(1)的一端固定連接有頂板(3)，所述工作臺(1)上固定設置有上料機構(4)和加熱機構(5)，所述上料機構(4)通過液體金屬合金能將靶材和背板粘合，其特征在于：所述加熱機構(5)包括發熱組件(51)和固定設置在工作臺(1)上的固定柱(52)，所述固定柱(52)上設置有凹槽，所述發熱組件(51)固定設置在凹槽內壁上，設置有所述發熱組件(51)的凹槽尺寸大于背板尺寸，所述上料機構(4)能帶動粘合后的靶材和背板與發熱組件(51)接觸。

2.根據權利要求1所述一種靶材出荷形式改變結構，其特征在于：所述上料機構(4)包括膠料池(41)、放置臺(42)和升降氣缸(43)，所述膠料池(41)和放置臺(42)均固定設置在工作臺(1)上且均位于固定柱(52)一側，所述升降氣缸(43)通過滑動組件(7)與頂板(3)滑動連接，所述升降氣缸(43)的伸縮桿通過固定機構與靶材連接，所述升降氣缸(43)能帶動靶材依次與膠料池(41)內的液體金屬合金、放置臺(42)上的背板接觸。

3.根據權利要求2所述一種靶材出荷形式改變結構，其特征在于：所述固定機構(6)包括固定板(61)和真空吸盤(62)，所述固定板(61)與伸縮桿固定連接，所述固定板(61)遠離伸縮桿的一端面設置有真空吸盤(62)，所述真空吸盤(62)連接有真空泵，所述真空泵固定設置在固定板(61)側方，所述真空泵由控制器控制。

4.根據權利要求2所述一種靶材出荷形式改變結構，其特征在于：所述滑動組件(7)包括滑軌(71)和滑塊(72)，所述滑軌(71)固定設置在頂板(3)上，所述升降氣缸(43)的機殼上固定設置有滑塊(72)，所述滑塊(72)帶動升降氣缸(43)在頂板(3)上滑動。

5.根據權利要求1所述一種靶材出荷形式改變結構,其特征在于：所述發熱組件(51)為發熱片或發熱絲。