[實用新型]一種角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922341103.5
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN211471539U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭英能;戴雷;蔡麗菲
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東阿格蕾雅光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 北京兆君聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11333
• 代理人: 胡敬紅

1.一種角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，包括坩堝、鎢絲框和與鎢絲框兩端延伸鎢絲相連的電極，所述電極包括電極壓片、電極底座和電極定位裝置，所述電極壓片位于電極底座上方，所述延伸鎢絲位于電極壓片下面，電極壓片固定螺栓將電極壓片、延伸鎢絲和電極底座固定在一起，其特征在于：所述電極定位裝置包括定位塊和連接桿，所述定位塊的上端面有一個內(nèi)凹球面孔，球面孔內(nèi)嵌有一個能轉(zhuǎn)動的圓球，所述連接桿的一端與電極固定連接，另一端與圓球球面連接，所述圓球與定位塊之間通過球面固定螺栓固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述定位塊的上端面為球面，所述圓球球面的1/2以上嵌入在球面孔內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述連接桿的另一端面為內(nèi)凹球面，所述內(nèi)凹球面與露出球面孔外的部分圓球球面相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述連接桿的一端與電極底座通過電極固定螺栓固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述坩堝由上部無底碗狀結(jié)構(gòu)和下部細(xì)長的有底圓筒結(jié)構(gòu)組成，所述細(xì)長圓筒的上端面與碗底相連接使圓筒內(nèi)與碗內(nèi)相通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述圓筒的內(nèi)底部為球面形狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的角度可調(diào)的蒸鍍電極裝置，其特征在于：所述圓筒與碗底的連接為圓滑過渡連接。