[實用新型]一種角度可調的蒸鍍電極裝置

有效

• 申請號: 201922341103.5
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN211471539U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 郭英能;戴雷;蔡麗菲
• 申請（專利權）人: 廣東阿格蕾雅光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 北京兆君聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 11333
• 代理人: 胡敬紅

本實用新型涉及一種角度可調的蒸鍍電極裝置，包括坩堝、鎢絲框和與鎢絲框兩端延伸鎢絲相連的電極，所述電極包括電極壓片、電極底座和電極定位裝置，電極壓片固定螺栓將電極壓片、延伸鎢絲和電極底座固定在一起，所述電極定位裝置包括定位塊和連接桿，所述定位塊的上端面有一個內凹球面孔，球面孔內嵌有一個能轉動的圓球，所述連接桿的一端與電極固定連接，另一端與圓球球面連接，所述圓球與定位塊之間通過球面固定螺栓固定。本申請將坩堝電極的定位裝置設計成球鏈結構，可以讓電極角度在橫向和縱向的一定角度范圍內進行調整。當圓球轉動角度時，帶動接連桿轉動，因此兩個電極與坩堝也發生相應角度的轉動，因此可以使基板上的鍍層均勻涂覆。

技術領域

本發明涉及器件制備中改善多元蒸鍍的混合均勻性，能改善器件的發光性能和壽命，并且可應用于新型顯示面板的制造。

背景技術

近年來，有機發光二極管(OLED)作為一種有巨大應用前景的照明、顯示技術，受到了學術界與產業界的廣泛關注。OLED器件具有自發光、廣視角、反應時間短及可制備柔性器件等優點，成為下一代顯示、照明技術的有力競爭者。但目前OLED器件仍然存在效率低、壽命短等問題，有待人們進一步研究。

有機發光二極管為電致發光器件，在電壓驅動下，電子和空穴分別經電子傳輸層和空穴傳輸層進入發光層復合形成激子。之后，激子將能量傳遞給有發光特性的有機分子，使其受激發，激發態分子回到基態時發生輻射躍遷而發光。自1998年Forrest等人報道電致磷光器件(PHOLED)以來，PHOLED因其可以高效利用三線態和單線態激子發光而備受關注。高效PHOLED器件通常為多層結構，其優點在于可以方便地調節載流子注入、傳輸及復合等過程。在發光層中，當客體摻雜濃度較高時，會出現濃度淬滅和T₁-T₁湮滅等，導致發光效率和壽命降低。現有的蒸鍍設備在多元蒸鍍發光層時，多種材料會出現混合不均勻甚至分層的現象，導致客體局部濃度過高，嚴重影響器件性能。相同器件結構不同設備間的器件性能差異也跟這現象有一定的關系。

發明內容

本實用新型提供一種角度可調的蒸鍍電極裝置，其角度可調，可以滿足基板的均勻蒸鍍，同時改進了坩堝的結構，使材料按一定的方向蒸鍍，然后充分混合后再蒸鍍到基板上。

一種角度可調的蒸鍍電極裝置，包括坩堝、鎢絲框和與鎢絲框兩端延伸鎢絲相連的電極，所述電極包括電極壓片、電極底座和電極定位裝置，所述電極壓片位于電極底座上方，所述延伸鎢絲位于電極壓片下面，電極壓片固定螺栓將電極壓片、延伸鎢絲和電極底座固定在一起，其特征在于：所述電極定位裝置包括定位塊和連接桿，所述定位塊的上端面有一個內凹球面孔，球面孔內嵌有一個能轉動的圓球，所述連接桿的一端與電極固定連接，另一端與圓球球面連接，所述圓球與定位塊之間通過球面固定螺栓固定。

所述定位塊的上端面為球面，所述圓球球面的1/2以上嵌入在球面孔內。

所述連接桿的另一端面為內凹球面，所述內凹球面與露出球面孔外的部分圓球球面相連接。

所述連接桿的一端與電極底座通過電極固定螺栓固定。

所述坩堝由上部無底碗狀結構和下部細長的有底圓筒結構組成，所述細長圓筒的上端面與碗底相連接使圓筒內與碗內相通。

所述圓筒的內底部為球面形狀。

所述圓筒與碗底的連接為圓滑過渡連接。

本申請將坩堝電極的定位裝置設計成球鏈結構，可以讓電極角度在橫向和縱向的一定角度范圍內進行調整。當圓球轉動角度時，帶動接連桿轉動，因此兩個電極與坩堝也發生相應角度的轉動，因此可以使基板上的鍍層均勻涂覆。