[實用新型]一種探針卡測試用大載荷高精度電動Z軸位移臺

有效

• 申請號: 201922334597.4
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211652957U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 張冀陽;邢玉兵
• 申請（專利權）人: 嘉兆電子科技（珠海）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其包括置物平臺、位于置物平臺下方且上端開口的缸體、位于缸體下端的固定臺、位于缸體內部的升降塊、固定于升降塊下端的絲桿、連接于所述絲桿下端的聯軸器、行星減速機及伺服電機；所述升降塊的上端與所述置物平臺連接，所述缸體的側端設有光柵傳感器，所述光柵傳感器包括光限位固定桿、光電限位開關、光柵標尺及光柵讀數頭，所述光柵讀數頭可沿光限位固定桿滑動，所述光柵讀數頭與所述置物平臺的側端通過連接桿連接。本實用新型應用于探針卡檢測過程中，操作方便，重復定位精度高，提高探針卡的檢測效率。

技術領域

本實用新型涉及探針卡生產檢測設備，尤其涉及一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺。

背景技術

探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試。垂直探針卡生產中進行測試時需要將探針卡放置在Z軸位移臺上，通過上下重復定位進行檢測。常使用的Z軸位移臺，使用線性軸承導軌，伺服電機和蝸桿通過彈性聯軸節連接。現有的Z軸位移臺線性導軌重復定位精度較差，載荷能力較弱，容易產生偏載擺動。

實用新型內容

針對上述現有技術，本實用新型要解決的技術問題是提供一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其結構簡單，操作方便，重復定位精度高。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：

一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其包括置物平臺、位于置物平臺下方且上端開口的缸體、位于缸體下端的固定臺、位于缸體內部的升降塊、固定于升降塊下端的絲桿、連接于所述絲桿下端的聯軸器、行星減速機及伺服電機；所述升降塊的上端與所述置物平臺連接，所述缸體的側端設有光柵傳感器，所述光柵傳感器包括光限位固定桿、光電限位開關、光柵標尺及光柵讀數頭，所述光柵讀數頭可沿光限位固定桿滑動，所述光柵讀數頭與所述置物平臺的側端通過連接桿連接。

將升降塊、絲桿等升降組件置于缸體內部，可以有效防止升降導軌表面沾染灰塵，增強機械結構的可靠性，提高升降定位的精確度及穩定性。位移臺上下移動時，伺服電機提供動力，通過行星減速機、聯軸器、絲桿進行傳動，推動升降塊及置物平臺移動，光柵傳感器可以實時測量置物平臺位移，并將信號傳送至伺服電機進行補償修正，大大提高位移臺的重復定位精度。

進一步，所述升降塊的側端設有直角滾針軸承，所述直角滾針軸承嵌入所述升降塊的側端，所述直角滾針軸承與所述缸體的側壁接觸。升降塊通過直角滾針軸承沿缸體的側壁上下滑動，防止置物平臺重載時出現偏載擺動，從而影響定位的精度。

進一步，所述缸體的上端兩側設有限位塊，限位塊可以對直角滾針軸承進行上移限位，防止滾針軸承移出缸體。

與現有技術相比，本實用新型提供的電動Z軸位移臺具有以下有益效果：

(1)缸體內置升降導軌，升降塊在絲桿傳動驅動下，通過直角滾針在缸體內移動實現置物平臺升降，設備結構穩定，荷載能力增強，偏載不擺動，導軌不易沾灰，定位精度高，使用壽命長；

(2)通過光柵尺及伺服電機聯動，對位移傳動數據進行采集，實現閉環補償，提高位移臺的重復定位精度。

附圖說明

圖1是本實用新型的正視結構示意圖；

圖2是本實用新型的右視結構示意圖；

圖3是圖2中A部位的放大結構示意圖；

圖4是本實用新型沿圖2中B-B剖面結構示意圖；

圖5是圖4中C部位的放大結構示意圖；