[實用新型]一種探針卡測試用大載荷高精度電動Z軸位移臺

有效

• 申請號: 201922334597.4
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211652957U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 張冀陽;邢玉兵
• 申請（專利權）人: 嘉兆電子科技（珠海）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其特征在于：其包括置物平臺、位于置物平臺下方且上端開口的缸體、位于缸體下端的固定臺、位于缸體內部的升降塊、固定于升降塊下端的絲桿、連接于所述絲桿下端的聯軸器、行星減速機及伺服電機；所述升降塊的上端與所述置物平臺連接，所述缸體的側端設有光柵傳感器，所述光柵傳感器包括光限位固定桿、光電限位開關、光柵標尺及光柵讀數頭，所述光柵讀數頭可沿光限位固定桿滑動，所述光柵讀數頭與所述置物平臺的側端通過連接桿連接。

2.根據權利要求1所述的一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其特征在于：所述升降塊的側端設有直角滾針軸承，所述直角滾針軸承嵌入所述升降塊的側端，所述直角滾針軸承與所述缸體的側壁接觸。

3.根據權利要求1或2所述的一種探針卡測試用高精度電動Z軸位移臺，其特征在于：所述缸體的上端兩側設有限位塊。