[實用新型]晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922317686.8
• 申請日: 2019-12-22
• 公開（公告）號: CN212320234U
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王振榮;劉紅兵;朱雄;盧鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B25/18
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強

本實用新型公開了一種晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置，包括槽殼體，所述槽殼體的內(nèi)部設(shè)有供放置晶圓的內(nèi)腔，所述槽殼體上安裝有噴氣管路，所述噴氣管路伸入所述內(nèi)腔以供向所述晶圓吹氣，所述內(nèi)腔的底部設(shè)有烘熱底層，所述晶圓設(shè)置于所述烘熱底層的上方。本實用新型所提供的晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置，其結(jié)構(gòu)簡明，方便操作，烘干效果好，通過在槽殼體上安裝噴氣管路，并在槽殼體的內(nèi)部設(shè)置烘熱底層，將晶圓統(tǒng)一放在槽殼體的內(nèi)腔后，便可圍繞晶圓的四周及底面產(chǎn)生立體式的烘干效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的半導(dǎo)體晶圓片的清洗設(shè)備，將一批晶圓片集中置于清洗槽中，通過沖洗作用，將晶圓片的表面清洗干凈。之后，需要將晶圓片集中烘干。為高效進行供干操作，需要一種專用的烘干設(shè)備。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置。

為實現(xiàn)以上目的，通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置，包括槽殼體，所述槽殼體的內(nèi)部設(shè)有供放置晶圓的內(nèi)腔，所述槽殼體上安裝有噴氣管路，所述噴氣管路伸入所述內(nèi)腔以供向所述晶圓吹氣，所述內(nèi)腔的底部設(shè)有烘熱底層，所述晶圓設(shè)置于所述烘熱底層的上方。

優(yōu)選地，所述噴氣管路包括上噴管以及下噴管，所述上噴管由所述槽殼體的上部伸入所述內(nèi)腔內(nèi)進而向所述晶圓的上部吹氣，所述下噴管由所述槽殼體的中部伸入所述內(nèi)腔內(nèi)進而向所述晶圓的下部吹氣。

優(yōu)選地，所述上噴管通過機械臂結(jié)構(gòu)可調(diào)節(jié)作動地安裝于所述槽殼體的外部，所述槽殼體的上部開設(shè)有上開口，所述上噴管由所述上開口伸入所述內(nèi)腔進而向所述晶圓吹空氣。

優(yōu)選地，所述上噴管的長度方向上均勻分布有多個向下噴氣的噴孔。

優(yōu)選地，所述機械臂結(jié)構(gòu)包括氣泵以及連桿段，所述上噴管的一端設(shè)有轉(zhuǎn)接通氣管以供外接空氣，所述連桿段通過擺動夾頭夾住所述轉(zhuǎn)接通氣管，進而通過所述氣泵驅(qū)動所述上噴管擺動進出于所述上開口。

優(yōu)選地，所述槽殼體的中部開設(shè)有側(cè)開口，所述下噴管由所述側(cè)開口伸入所述內(nèi)腔并外接熱氣，所述下噴管的長度方向上均勻分布有多個向上噴氣的噴孔。

優(yōu)選地，所述槽殼體包括相間隔的內(nèi)殼層以及外殼層，所述內(nèi)殼層的底部與所述外殼層導(dǎo)通，所述烘熱底層設(shè)于所述內(nèi)殼層的底部并與所述外殼層隔斷，所述內(nèi)殼層以及所述外殼層的底部設(shè)有外接的烘熱管，所述烘熱管與所述烘熱底層連通以用于供熱，進而，通過所述烘熱底層封閉所述內(nèi)腔的底部以供由下而上烘干所述晶圓。

優(yōu)選地，所述內(nèi)殼層的底部一側(cè)壁開設(shè)有導(dǎo)通口進而與所述外殼層導(dǎo)通，所述內(nèi)殼層的底面與所述外殼層導(dǎo)通并設(shè)有向上傾斜的彎折板，所述彎折板向上傾斜的上端封閉連接于所述導(dǎo)通口的上沿，所述彎折板的上端設(shè)有水平烘板，通過所述彎折板配合所述水平烘板圍合形成所述烘熱底層。

優(yōu)選地，所述水平烘板上均勻分布有多個烘熱孔，所述水平烘板與所述彎折板之間設(shè)有斜撐板，所述斜撐板上設(shè)有板導(dǎo)口，所述外殼層的底面上設(shè)有與外界連通的放熱管，所述放熱管穿過所述內(nèi)殼層的底面進而與所述烘熱底層連通。

優(yōu)選地，所述內(nèi)殼層與所述外殼層的側(cè)壁之間設(shè)有加強槽筋。

本實用新型晶圓濕制程設(shè)備用烘干槽裝置的有益效果包括：

1)通過在槽殼體上安裝噴氣管路，并在槽殼體的內(nèi)部設(shè)置烘熱底層，將晶圓統(tǒng)一放在槽殼體的內(nèi)腔后，便可圍繞晶圓的四周及底面產(chǎn)生立體式的烘干效果；

2)噴氣管路包括上噴管以及下噴管，上噴管通過機械臂結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)擺動伸縮以供向晶圓吹冷空氣，下噴管可以外接熱氣，以此，下方的熱氣往上走，而上方的冷空氣往下走，進而在晶圓的四周形成上下流動的氣流，可有效提高烘干效果；