[實用新型]一種二自由度納米定位平臺

有效

• 申請號: 201922309804.0
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN210865637U
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 文杰;宮明遠
• 申請（專利權）人: 三英精控（天津）儀器設備有限公司
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;B25B11/00
• 代理公司: 天津協眾信創知識產權代理事務所(普通合伙) 12230
• 代理人: 王力強

1.一種二自由度納米定位平臺，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端安裝有升降機構(2)，所述升降機構(2)的上端固定連接有安裝座(3)，所述安裝座(3)的上端安裝有轉動機構(4)，所述轉動機構(4)的上端安裝有定位平臺(5)；

所述升降機構(2)包括驅動電機(21)、螺桿(22)和螺紋套(23)，所述驅動電機(21)安裝在底座(1)的上端，所述螺桿(22)固定連接在驅動電機(21)的輸出端上，所述螺紋套(23)與螺桿(22)螺紋連接，所述安裝座(3)固定連接在螺紋套(23)的上端。

2.根據權利要求1所述的一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述轉動機構(4)包括步進電機(41)和安裝板(42)，所述步進電機(41)固定連接在安裝座(3)的上端，所述安裝板(42)固定連接在驅動電機(21)上，所述安裝板(42)的上端固定連接在定位平臺(5)的下端中心處。

3.根據權利要求1所述的一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述定位平臺(5)的下端固定連接有固定環(6)，所述固定環(6)的下端開設有環形滑槽(7)，所述環形滑槽(7)內滑動連接有環形滑塊(8)，所述螺紋套(23)的側壁對稱固定連接有連接桿(9)，所述連接桿(9)呈“L”型設置，所述連接桿(9)的上端固定連接在環形滑塊(8)的下端。

4.根據權利要求3所述的一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述環形滑塊(8)靠近環形滑槽(7)槽底的一端呈環形陣列地開設有若干個滾珠槽(10)，所述滾珠槽(10)內滾動連接有滾珠(11)，所述滾珠(11)遠離滾珠槽(10)槽底的一端穿過滾珠槽(10)的槽口并向外延伸，且與限位槽()的槽底滾動連接。

5.根據權利要求1所述的一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述底座(1)的底部四角處均固定連接有支撐腳(12)。

6.根據權利要求3所述的一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述底座(1)的上端對稱固定連接有伸縮桿(13)，所述伸縮桿(13)的上端固定連接在連接桿(9)的對應位置上。