[實(shí)用新型]一種真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922255779.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211256078U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳偉亮;馮剛;鄧永琪;汪毅;梁海洋;章強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州星藍(lán)納米技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;G01K13/00;G01K1/14
• 代理公司: 江蘇昆成律師事務(wù)所 32281
• 代理人: 劉尚軻

1.一種真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其包括：真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)、大盤(pán)(2)、溫度傳感器(3)、溫度計(jì)(4)、空心管(5)、齒輪(7)，其中大盤(pán)(2)位于真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的底部，且大盤(pán)(2)的上表面上設(shè)有一個(gè)或多個(gè)工件架(21)，大盤(pán)(2)的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，空心管(5)穿過(guò)真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的底部，其中空心管(5)的上部分位于真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的內(nèi)部，空心管(5)的下部分位于真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的外部，轉(zhuǎn)軸與空心管(5)的上部分固定連接，空心管(5)的下部分外圍固定有齒輪(7)，齒輪(7)的外圍包覆皮帶輪(71)，皮帶輪(71)的另外一側(cè)穿過(guò)電機(jī)(72)的電機(jī)軸(721)，電機(jī)(72)的電機(jī)軸(721)可以帶動(dòng)皮帶輪(71)旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)空心管(5)旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)大盤(pán)(2)旋轉(zhuǎn)，溫度傳感器(3)位于真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的內(nèi)部，其特征在于：所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置還包括容納腔室(6)，容納腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容納腔室(6)在XY平面上的橫切面積大于空心管(5)在XY平面上的橫切面積，溫度計(jì)(4)位于容納腔室(6)超出空心管的XY軸平面的側(cè)壁上，溫度傳感器(3)的傳輸線穿過(guò)空心管(5)連接到溫度計(jì)(4)上。

2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其特征在于：容納腔室(6)包括上部開(kāi)口(61)、外螺紋、超出空心管(5)的XY軸平面的側(cè)壁和底板(62)，其中上部開(kāi)口(61)嵌套在空心管(5)的內(nèi)部，外螺紋與空心管(5)內(nèi)部的內(nèi)螺紋固定連接，使得容納腔室(6)與空心管(5)固定連接，底板(62)與超出空心管(5)的XY軸平面的側(cè)壁底部連接。

3.如權(quán)利要求2所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其特征在于：所述的底板(62)與所述的超出空心管(5)的XY軸平面的側(cè)壁為分體結(jié)構(gòu)，在XY軸平面的側(cè)壁外部設(shè)有卡箍組件(63)，通過(guò)將卡箍組件(63)鎖緊或者松開(kāi)，可以對(duì)底板(62)實(shí)現(xiàn)打開(kāi)或者閉合。

4.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其特征在于：在空心管(5)的外側(cè)設(shè)有磁流體密封(51)，磁流體密封(51)的上表面固定在真空鍍膜機(jī)工作腔室(1)的底板的下表面上。

5.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其特征在于：在空心管(5)的外圍固定有銅圈(8)，銅圈(8)與碳刷(81)接觸，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空鍍膜機(jī)的供電。

6.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)的爐腔測(cè)溫裝置，其特征在于：在空心管(5)的外圍還固定有轉(zhuǎn)盤(pán)(9)，轉(zhuǎn)盤(pán)(9)的邊緣等距離設(shè)置多個(gè)開(kāi)孔(91)，在轉(zhuǎn)盤(pán)(9)的開(kāi)孔(91)的上方設(shè)置有計(jì)數(shù)傳感器(92)。