[實用新型]一種真空鍍膜機的爐腔測溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922255779.2
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211256078U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳偉亮;馮剛;鄧永琪;汪毅;梁海洋;章強
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州星藍(lán)納米技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;G01K13/00;G01K1/14
• 代理公司: 江蘇昆成律師事務(wù)所 32281
• 代理人: 劉尚軻

為了解決真空鍍膜機的空心管和真空鍍膜機工作腔室底部相對旋轉(zhuǎn)發(fā)生摩擦從而產(chǎn)生金屬粉末掉落在溫度計表面，最終影響溫度計測量結(jié)果的問題，本實用新型提出一種真空鍍膜機的爐腔測溫裝置，其包括：真空鍍膜機工作腔室(1)、大盤(2)、溫度傳感器(3)、溫度計(4)、空心管(5)、齒輪(7)，其特征在于：所述的真空鍍膜機的爐腔測溫裝置還包括容納腔室(6)，容納腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容納腔室(6)在XY平面上的橫切面積大于空心管(5)在XY平面上的橫切面積，溫度計(4)位于容納腔室(6)超出空心管的XY軸平面的側(cè)壁上，溫度傳感器(3)的傳輸線穿過空心管(5)連接到溫度計(4)上。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域，較為具體的，涉及到一種真空鍍膜機的爐腔測溫裝置。

背景技術(shù)

PVD真空鍍膜機在工作時，大盤的上表面固定有一個或者多個工件架，所述的一個或者多個工件架可以在大盤的上表面發(fā)生自旋轉(zhuǎn)，大盤的下表面設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與空心管固定連接，空心管從真空鍍膜機工作腔室的內(nèi)部穿過真空鍍膜機的底板，從而延伸到真空鍍膜機工作腔室的外部，在空心管的外圍固定有齒輪，齒輪的外圍包覆有皮帶輪，皮帶輪在電機的電機軸的帶動下發(fā)生旋轉(zhuǎn)動作，從而帶動大盤發(fā)生公轉(zhuǎn)。

PVD真空鍍膜的過程中，溫度的控制十分重要，目前，現(xiàn)有的PVD真空鍍膜機的測溫裝置為，在真空鍍膜機工作腔室的內(nèi)部設(shè)有一個或多個溫度傳感器，溫度傳感器的傳輸線從空心管中穿過并延伸至溫度較低的空心管的底部，并在空心管的底部固定有溫度計，這樣可以測量PVD真空鍍膜機工作腔室的溫度。但是采用這種結(jié)構(gòu)，由于空心管長期處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，與真空鍍膜機工作腔室的底面發(fā)生摩擦，會產(chǎn)生金屬粉末，這些金屬粉末都會掉落在溫度計的表面，從而會影響溫度計的效果，使得溫度計的測量不準(zhǔn)，這樣對于PVD真空鍍膜機工作腔室的溫度的控制就會不準(zhǔn)，會直接影響真空鍍膜的效果。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，為了解決真空鍍膜機的空心管和真空鍍膜機工作腔室底部相對旋轉(zhuǎn)發(fā)生摩擦從而產(chǎn)生金屬粉末掉落在溫度計表面，最終影響溫度計測量結(jié)果的問題，本實用新型提出一種真空鍍膜機的爐腔測溫裝置，其在傳統(tǒng)方案的基礎(chǔ)上，在空心管的底部增加一個容納腔室，容納腔室在XY軸平面的面積超出空心管的橫截面積，并且在容納腔室的超出空心管的XY軸平面的側(cè)壁上安裝溫度計，這樣可以使得摩擦產(chǎn)生的金屬粉末不會掉落在溫度計的表面，就不會影響溫度計的使用效果，從而保證了真空鍍膜機對溫度的控制。

一種真空鍍膜機的爐腔測溫裝置，其包括：真空鍍膜機工作腔室1、大盤2、溫度傳感器3、溫度計4、空心管5、齒輪7，其中大盤2位于真空鍍膜機工作腔室1的底部，且大盤2的上表面上設(shè)有一個或多個工件架21，大盤2的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，空心管5穿過真空鍍膜機工作腔室1的底部，其中空心管5的上部分位于真空鍍膜機工作腔室1的內(nèi)部，空心管5的下部分位于真空鍍膜機工作腔室1的外部，轉(zhuǎn)軸與空心管5的上部分固定連接，空心管5的下部分外圍固定有齒輪7，齒輪7的外圍包覆皮帶輪71，皮帶輪71的另外一側(cè)穿過電機72的電機軸721，電機72的電機軸721可以帶動皮帶輪71旋轉(zhuǎn)，從而帶動空心管5旋轉(zhuǎn)，從而帶動大盤2旋轉(zhuǎn)，溫度傳感器3位于真空鍍膜機工作腔室1的內(nèi)部，其特征在于：所述的真空鍍膜機的爐腔測溫裝置還包括容納腔室6，容納腔室6固定在空心管5的底部，且容納腔室6在XY平面上的橫切面積大于空心管5在XY平面上的橫切面積，溫度計4位于容納腔室6超出空心管的XY軸平面的側(cè)壁上，溫度傳感器3的傳輸線穿過空心管5連接到溫度計4上。

進(jìn)一步的，容納腔室6包括上部開口61、外螺紋、超出空心管5的XY軸平面的側(cè)壁和底板62，其中上部開口61嵌套在空心管5的內(nèi)部，外螺紋與空心管5內(nèi)部的內(nèi)螺紋固定連接，使得容納腔室6與空心管5固定連接，底板62與超出空心管5的XY軸平面的側(cè)壁底部連接。

進(jìn)一步的，所述的底板62與所述的超出空心管5的XY軸平面的側(cè)壁為分體結(jié)構(gòu)，在XY軸平面的側(cè)壁外部設(shè)有卡箍組件63，通過將卡箍組件63鎖緊或者松開，可以對底板62實現(xiàn)打開或者閉合，當(dāng)?shù)装?2打開時，可以方便將容納腔室6內(nèi)部的金屬粉末倒出，或者對溫度計進(jìn)行維修。