[實用新型]一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置、轉動機構和限位機構

有效

• 申請號: 201922254898.6
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211387485U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 周明;徐劍
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;B23K37/02;B23K37/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，包括工作臺、底座、轉動機構和限位機構；轉動機構包括固定架、電機、放置臺、彈簧、夾板、線路板和探針卡；限位機構包括第一電動推桿、連接板、固定板、滑塊、壓板、第二電動推桿、焊接臺和焊接頭。本實用新型結構簡單，操作方便，通過夾板的設計方便對線路板進行限位，并通過放置板的轉動方便帶動探針卡旋轉，有利于對多個與探針連接的Substrate和線路板之間焊接，提高了操作的效率，有利于進行連續加工；本實用新型通過固定板的移動方便對探針卡的探針腳進行限位，并通過壓板的移動方便探針卡的探針腳進行固定，有利于探針卡與線路板之間的連接，避免探針腳發生偏移而影響探針卡的加工，提高加工質量。

技術領域

本實用新型一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置、轉動機構和限位機構屬于探針卡應用技術領域。

背景技術

探針卡是晶圓測試中被測芯片和測試機之間的接口，主要應用于芯片分片封裝前對芯片電學性能進行初步測量，并篩選出不良芯片后，再進行之后的封裝工程，探針卡的使用原理是將探針卡上的探針與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，導出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測晶圓，它對前期測試的開發及后期量產測試的良率保證都非常重要，是晶圓制造過程中對制造成本影響相當大的重要制程，探針卡加工時，是將探針卡的探針通過樹脂與Substrate連接，即采用松耦合連接后將Substrate另一端與線路板之間焊接。

目前的探針卡主要由PCB、探針、ring構成，根據不同的需求，還會有

電子元件、stiffener等的需求，對于探針卡的加工來說，由于探針卡需要將Substrate焊接在線路板上以進行探針卡的連接，在進行Substrate與線路板焊接時不利于進行連續加工，降低了工作效率；且在進行焊接時，不利于對Substrate進行限位，容易發生探針偏移的問題而影響加工，不利于探針卡的加工。因此，針對上述問題提出一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置、轉動機構和限位機構。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置、轉動機構和限位機構。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的，一種用于DMEMS探針卡的加工裝置，包括安裝在工作臺底部的底座、轉動機構和限位機構；

所述轉動機構包括電機和放置臺，所述底座內部與電機固定連接，所述電機輸出端與放置臺固定連接，且放置臺側端開設的開口內部通過彈簧與夾板固定連接；

所述限位機構包括固定架和第一電動推桿，所述工作臺頂面與固定架固定連接，所述固定架頂部與第一電動推桿固定連接，且第一電動推桿底端與連接板固定連接，所述連接板底面與固定板固定連接，所述固定板開設的滑槽內部滑塊滑動連接，所述滑塊與壓板側壁固定連接，且壓板頂面與第二電動推桿固定連接。

優選的，所述放置板呈圓形結構，所述放置板側端分別與四個均勻分布的夾板轉動連接，所述夾板之間夾持有線路板邊緣，且線路板中部固定連接有用于芯片測試的探針卡。

優選的，所述固定架呈U形結構，所述固定架與工作臺邊緣固定連接，所述固定架兩側內部分別與兩個焊接臺固定連接，且焊接臺底部設有用于探針和線路板焊接的焊接頭。

優選的，所述底座呈U形結構，所述底座內部的電機輸出端與工作臺貫穿連接，且電機輸出端的放置板與工作臺頂面轉動連接。

優選的，所述連接板底面與第二電動推桿固定連接，所述第二電動推桿底端的壓板開設有用于探針下壓的凹槽，且壓板接觸有探針卡。

優選的，所述固定板開設有呈T形結構的滑槽，所述固定板內部分別與兩個滑塊滑動連接，且兩個滑塊分別與壓板兩側固定連接。