[實用新型]一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置、轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和限位機(jī)構(gòu)

有效

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• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211387485U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周明;徐劍
• 申請（專利權(quán)）人: 強(qiáng)一半導(dǎo)體（蘇州）有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;B23K37/02;B23K37/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：包括安裝在工作臺（1）底部的底座（2）、轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和限位機(jī)構(gòu)；

所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括電機(jī)（4）和放置臺（5），所述底座（2）內(nèi)部與電機(jī)（4）固定連接，所述電機(jī)（4）輸出端與放置臺（5）固定連接，且放置臺（5）側(cè)端開設(shè)的開口內(nèi)部通過彈簧（6）與夾板（7）固定連接；

所述限位機(jī)構(gòu)包括固定架（3）和第一電動推桿（10），所述工作臺（1）頂面與固定架（3）固定連接，所述固定架（3）頂部與第一電動推桿（10）固定連接，且第一電動推桿（10）底端與連接板（11）固定連接，所述連接板（11）底面與固定板（12）固定連接，所述固定板（12）開設(shè)的滑槽內(nèi)部滑塊（13）滑動連接，所述滑塊（13）與壓板（14）側(cè)壁固定連接，且壓板（14）頂面與第二電動推桿（15）固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：所述放置臺（5）呈圓形結(jié)構(gòu)，所述放置臺（5）側(cè)端分別與四個均勻分布的夾板（7）轉(zhuǎn)動連接，所述夾板（7）之間夾持有線路板（8）邊緣，且線路板（8）中部固定連接有用于芯片測試的探針卡（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：所述固定架（3）呈U形結(jié)構(gòu)，所述固定架（3）與工作臺（1）邊緣固定連接，所述固定架（3）兩側(cè)內(nèi)部分別與兩個焊接臺（16）固定連接，且焊接臺（16）底部設(shè)有用于探針和線路板（8）焊接的焊接頭（17）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：所述底座（2）呈U形結(jié)構(gòu)，所述底座（2）內(nèi)部的電機(jī)（4）輸出端與工作臺（1）貫穿連接，且電機(jī)（4）輸出端的放置臺（5）與工作臺（1）頂面轉(zhuǎn)動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：所述連接板（11）底面與第二電動推桿（15）固定連接，所述第二電動推桿（15）底端的壓板（14）開設(shè)有用于探針下壓的凹槽，且壓板（14）接觸有探針卡（9）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置，其特征在于：所述固定板（12）開設(shè)有呈T形結(jié)構(gòu)的滑槽，所述固定板（12）內(nèi)部分別與兩個滑塊（13）滑動連接，且兩個滑塊（13）分別與壓板（14）兩側(cè)固定連接。

7.一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置用轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括電機(jī)（4）和放置臺（5），所述底座（2）內(nèi)部與電機(jī)（4）固定連接，所述電機(jī)（4）輸出端與放置臺（5）固定連接，且放置臺（5）側(cè)端開設(shè)的開口內(nèi)部通過彈簧（6）與夾板（7）固定連接。

8.一種用于2DMEMS探針卡的加工裝置用限位機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括固定架（3）和第一電動推桿（10），所述工作臺（1）頂面與固定架（3）固定連接，所述固定架（3）頂部與第一電動推桿（10）固定連接，且第一電動推桿（10）底端與連接板（11）固定連接，所述連接板（11）底面與固定板（12）固定連接，所述固定板（12）開設(shè)的滑槽內(nèi)部滑塊（13）滑動連接，所述滑塊（13）與壓板（14）側(cè)壁固定連接，且壓板（14）頂面與第二電動推桿（15）固定連接。