[實用新型]晶圓偏移監(jiān)測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922236942.0
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN210668301U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝瀚;盧俊男;梁明亮
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 譚云

本實用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，提供晶圓偏移監(jiān)測裝置。晶圓偏移監(jiān)測裝置包括晶圓運送機(jī)械手、安裝在所述晶圓運送機(jī)械手上的多個吸附單元和多個偏移監(jiān)測傳感器，多個所述偏移監(jiān)測傳感器包括一個位于晶圓所在區(qū)域內(nèi)側(cè)的第一偏移監(jiān)測傳感器和分別位于所述第一偏移監(jiān)測傳感器兩側(cè)的第二偏移監(jiān)測傳感器，所述第二偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的外側(cè)；多個所述吸附單元間隔設(shè)于所述晶圓所在區(qū)域的圓周。本實用新型能夠能夠有效的避免晶圓滑移掉落，確保晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量及成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及晶圓偏移監(jiān)測裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體，是最常用的半導(dǎo)體材料，按其直徑分為6英寸、8英寸等規(guī)格，近年來為了滿足半導(dǎo)體制造的需要，已經(jīng)發(fā)展出12英寸甚至更大規(guī)格的晶圓。隨著晶圓尺寸的不斷增大，對晶圓制造工藝的要求也不斷提高。晶圓匣是晶圓制造過程中必不可少的、用于存儲和轉(zhuǎn)移晶圓的裝置。在晶圓制造過程中，需要多次將晶圓從晶圓匣中取出并送往加工位，加工完成之后再送入晶圓匣中進(jìn)行存儲或轉(zhuǎn)移。機(jī)械手臂就是用于將晶圓從晶圓匣中取出、從加工位將晶圓送入晶圓匣、以及在不同加工位之間進(jìn)行晶圓轉(zhuǎn)移的裝置。

采用機(jī)械手臂抓持晶圓并轉(zhuǎn)移的過程中，機(jī)械手臂的末端執(zhí)行器與晶圓之間的間隙非常狹小，從而極易造成晶圓從所述機(jī)械手臂滑移掉落，影響晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。為了解決這一問題，目前的做法是采用夾持晶圓邊緣和真空吸附的方式。但是，與晶圓接觸的部分容易積累小的物質(zhì)顆粒，導(dǎo)致晶圓因表面污染而報廢的情況還是時有發(fā)生。

因此，如何有效的避免晶圓從所述機(jī)械手臂滑移掉落，確保晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量及成品率，是目前亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型實施例提出一種晶圓偏移監(jiān)測裝置，能夠有效的避免晶圓滑移掉落，確保晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量及成品率。

根據(jù)本實用新型實施例的晶圓偏移監(jiān)測裝置，包括：晶圓運送機(jī)械手、安裝在所述晶圓運送機(jī)械手上的多個吸附單元和多個偏移監(jiān)測傳感器，多個所述偏移監(jiān)測傳感器包括一個位于晶圓所在區(qū)域內(nèi)側(cè)的第一偏移監(jiān)測傳感器和分別位于所述第一偏移監(jiān)測傳感器兩側(cè)的第二偏移監(jiān)測傳感器，所述第二偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的外側(cè)；多個所述吸附單元間隔設(shè)于所述晶圓所在區(qū)域的圓周。

本實用新型實施例的晶圓偏移監(jiān)測裝置，在晶圓運送機(jī)械手抓取晶圓并托起晶圓運動的過程中，通過偏移監(jiān)測傳感器的反饋信號來判斷晶圓是否發(fā)生了偏移，從而達(dá)到實時監(jiān)測晶圓是否偏移的目的，當(dāng)晶圓在運動過程中發(fā)生偏移時，觸發(fā)偏移監(jiān)測傳感器報警，由控制機(jī)構(gòu)控制晶圓運送機(jī)械手停止運動，從而有效的避免晶圓滑移掉落。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，每個所述吸附單元包括凸設(shè)在所述晶圓運送機(jī)械手上表面的摩擦凸柱，所述摩擦凸柱設(shè)有吸附孔，所述吸附孔位于所述晶圓運送機(jī)械手的下方連接有真空管路。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述摩擦凸柱為復(fù)合橡膠摩擦凸柱，所述摩擦凸柱呈盤形圓柱體。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述晶圓運送機(jī)械手包括手柄和設(shè)于所述手柄一端且呈夾角設(shè)置的兩根手指，兩根所述手指之間的連接處呈圓弧過渡連接；

所述吸附單元為三個，三個所述吸附單元分別設(shè)于兩根所述手指的指端以及兩根所述手指的交叉處。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述偏移監(jiān)測傳感器為三個，三個所述偏移監(jiān)測傳感器間隔設(shè)于所述手柄與兩根所述手指的連接處，三個所述偏移監(jiān)測傳感器繞所述晶圓所在區(qū)域呈弧形設(shè)置，位于中部的所述偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的內(nèi)側(cè)，形成所述第一偏移監(jiān)測傳感器，位于兩側(cè)的所述偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的外側(cè)，形成所述第二偏移監(jiān)測傳感器。