[實用新型]晶圓偏移監(jiān)測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922236942.0
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN210668301U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 郝瀚;盧俊男;梁明亮
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 譚云

1.一種晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，包括晶圓運送機械手、安裝在所述晶圓運送機械手上的多個吸附單元和多個偏移監(jiān)測傳感器，多個所述偏移監(jiān)測傳感器包括一個位于晶圓所在區(qū)域內(nèi)側的第一偏移監(jiān)測傳感器和分別位于所述第一偏移監(jiān)測傳感器兩側的第二偏移監(jiān)測傳感器，所述第二偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的外側；多個所述吸附單元間隔設于所述晶圓所在區(qū)域的圓周。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，每個所述吸附單元包括凸設在所述晶圓運送機械手上表面的摩擦凸柱，所述摩擦凸柱設有吸附孔，所述吸附孔位于所述晶圓運送機械手的下方連接有真空管路。

3.根據(jù)權利要求2所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述摩擦凸柱為復合橡膠摩擦凸柱，所述摩擦凸柱呈盤形圓柱體。

4.根據(jù)權利要求1所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述晶圓運送機械手包括手柄和設于所述手柄一端且呈夾角設置的兩根手指，兩根所述手指之間的連接處呈圓弧過渡連接；

所述吸附單元為三個，三個所述吸附單元分別設于兩根所述手指的指端以及兩根所述手指的交叉處。

5.根據(jù)權利要求4所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述偏移監(jiān)測傳感器為三個，三個所述偏移監(jiān)測傳感器間隔設于所述手柄與兩根所述手指的連接處，三個所述偏移監(jiān)測傳感器繞所述晶圓所在區(qū)域呈弧形設置，位于中部的所述偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的內(nèi)側，形成所述第一偏移監(jiān)測傳感器，位于兩側的所述偏移監(jiān)測傳感器位于所述晶圓所在區(qū)域的外側，形成所述第二偏移監(jiān)測傳感器。

6.根據(jù)權利要求5所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，三個所述偏移監(jiān)測傳感器關于所述手柄的中心軸線呈中心對稱設置。

7.根據(jù)權利要求2所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述晶圓運送機械手上設置有摩擦凸柱安裝孔和傳感器安裝槽，所述摩擦凸柱安裝在所述摩擦凸柱安裝孔中，所述偏移監(jiān)測傳感器通過連接件安裝在所述傳感器安裝槽中。

8.根據(jù)權利要求7所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述偏移監(jiān)測傳感器的上表面不高出所述傳感器安裝槽的上表面。

9.根據(jù)權利要求1所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述晶圓運送機械手為鋁合金平板制成。

10.根據(jù)權利要求2所述的晶圓偏移監(jiān)測裝置，其特征在于，所述晶圓運送機械手與摩擦凸柱的總厚度不大于5毫米。