[實(shí)用新型]一種鈣鈦礦薄膜制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922236271.8
• 申請(qǐng)日: 2019-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210628348U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉生忠;杜敏永;王立坤;王開(kāi);王輝;秦?zé)?/a>;曹越先;孫友名;段連杰;焦玉驍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/48
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/48;H01L51/42
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

1.一種鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：包括鈣鈦礦涂膜調(diào)整裝置、反溶劑涂膜調(diào)整裝置和襯底傳輸機(jī)構(gòu)，鈣鈦礦涂膜調(diào)整裝置和反溶劑涂膜調(diào)整裝置均設(shè)于襯底傳輸機(jī)構(gòu)上方，所述鈣鈦礦涂膜調(diào)整裝置包括第一調(diào)整車(chē)(101)、第一流量控制閥(105)和鈣鈦礦涂膜元件(1)，且鈣鈦礦涂膜元件(1)可升降地設(shè)于所述第一調(diào)整車(chē)(101)下側(cè)并通過(guò)所述第一流量控制閥(105)控制流量，所述反溶劑涂膜調(diào)整裝置包括第二調(diào)整車(chē)(201)、第二流量控制閥(205)和反溶劑涂膜元件(2)，且反溶劑涂膜元件(2)可升降地設(shè)于第二調(diào)整車(chē)(201)下方并通過(guò)所述第二流量控制閥(205)控制流量，所述第一調(diào)整車(chē)(101)和第二調(diào)整車(chē)(201)均沿著軌道(9)行走。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：所述第一調(diào)整車(chē)(101)內(nèi)設(shè)有第一電機(jī)(102)，所述第二調(diào)整車(chē)(201)內(nèi)設(shè)有第二電機(jī)(202)，所述第一電機(jī)(102)和第二電機(jī)(202)的輸出軸上均設(shè)有齒輪，在所述軌道(9)側(cè)壁上設(shè)有齒條，且所述齒輪均與所述齒條嚙合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：所述第一調(diào)整車(chē)(101)內(nèi)設(shè)有第一升降裝置(103)，所述鈣鈦礦涂膜元件(1)通過(guò)所述第一升降裝置(103)驅(qū)動(dòng)升降，所述第二調(diào)整車(chē)(201)內(nèi)設(shè)有第二升降裝置(203)，所述反溶劑涂膜元件(2)通過(guò)所述第二升降裝置(203)驅(qū)動(dòng)升降。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：所述鈣鈦礦涂膜元件(1)通過(guò)第一管路(104)與鈣鈦礦液儲(chǔ)罐相連，且所述第一流量控制閥(105)設(shè)于所述第一管路(104)上，所述反溶劑涂膜元件(2)通過(guò)第二管路(204)與反溶劑儲(chǔ)罐相連，且所述第二流量控制閥(205)設(shè)于所述第二管路(204)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：襯底先經(jīng)過(guò)鈣鈦礦涂膜元件涂布一層鈣鈦礦濕膜，且在鈣鈦礦濕膜未干時(shí)經(jīng)過(guò)反溶劑涂膜元件。