[實用新型]并聯式氯硅烷尾氣回收系統

有效

• 申請號: 201922208544.8
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN211946289U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 袁川江;勾護國;劉鵬飛
• 申請（專利權）人: 新疆東方希望新能源有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 韓雪

本實用新型公開了并聯式氯硅烷尾氣回收系統，屬于多晶硅制造技術領域，其通過布置設置跨接管路，以連通相鄰兩根回收管路，從而使得整個系統中的氯硅烷尾氣回收裝置可以共享其處理能力，使其進氣余量得到充分的應用，提高了氯硅烷尾氣回收裝置的使用效率。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅制造技術領域，具體而言，尤其涉及并聯式氯硅烷尾氣回收系統。

背景技術

在多晶硅的生產過程當中，尾氣回收系統主要用于還原爐尾氣的回收再利用。如圖1所示，傳統的尾氣回收系統，其主要由多組還原爐組和對應的氯硅烷尾氣回收裝置所構成，還原爐組中包含有多個還原爐，多個還原爐的尾氣匯總后通過單獨的回收管路排入至氯硅烷尾氣回收裝置中，以進行回收作業。其中，由于各個氯硅烷尾氣回收裝置之間相互獨立，而對應氯硅烷尾氣回收裝置進氣余量與對應還原爐之間的尾氣量難以完全適配，所以整個尾氣回收系統具有著回收裝置負荷分配不均、使用率不飽和的缺陷。詳細的說，如圖1中所示的傳統的尾氣回收系統，其還原爐組中單個還原爐的的尾氣量大致為3000Nm3，而氯硅烷尾氣回收裝置的進氣量大致為10000Nm3，這導致了還原爐組在開啟三臺還原爐時，氯硅烷尾氣回收裝置尚存有1000Nm3的進氣余量，使用不飽和。同時，對于傳統的尾氣回收系統而言，其在面臨部分氯硅烷尾氣回收裝置出現故障時，只能將對應的還原爐組進行關停，影響了企業的正常效率，降低了尾氣回收系統的可靠性。

發明內容

綜上所述，本實用新型所解決的技術問題是：提供一種可靠性強，且可有效改善氯硅烷尾氣回收裝置使用不飽和的問題的尾氣回收系統。

而本實用新型為解決上述技術問題所采用的方案為：

并聯式氯硅烷尾氣回收系統，包括有多組還原爐組，多組氯硅烷尾氣回收裝置，以及多根與還原爐組、氯硅烷尾氣回收裝置相對應的回收管路，所述回收管路并行設置，還原爐組的出氣口通過回收管路而與氯硅烷尾氣回收裝置的進氣口對應連通，相鄰的兩回收管路通過設置于兩者之間的跨接管路而相互連通。

進一步的，所述跨接管路上設有多個并聯的跨接截止閥。

進一步的，所述跨接截止閥的數量為3個。

進一步的，所述跨接管路的兩端分別通過串接第一閘閥和第二閘閥而與對應側的回收管路相連通。

進一步的，所述還原爐組，回收管路，及氯硅烷尾氣回收裝置的數量均為5組。

進一步的，所述跨接管路上還串接有緩沖罐。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果為：

(1)本實用新型通過布置設置跨接管路，以連通相鄰兩根回收管路，從而使得整個系統中的氯硅烷尾氣回收裝置可以共享其處理能力，使氯硅烷尾氣回收裝置的進氣余量可以得到充分的應用，有效改善了氯硅烷尾氣回收裝置的使用飽和程度。

(2)本實用新型具體采用呈冗余樣式的跨接截止閥作為跨接管路的關停閥，可靠性、耐用性均較強，尤其適用于產量較大、尾氣量產生較大的多晶硅生產系統。

附圖說明

圖1為傳統實施方式當中尾氣回收系統的結構示意圖；

圖2為本實用新型所提供的實施例1的結構示意圖；

圖3為本實用新型所提供的實施例1中跨接管路的結構示意圖。

【具體符號說明】

1-還原爐組，2-氯硅烷尾氣回收裝置，3-回收管路，4-跨接管路，5-跨接截止閥，6-第一閘閥，7-第二閘閥，8-緩沖罐。

具體實施方式