[實用新型]并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922208544.8
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN211946289U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設計）人: 袁川江;勾護國;劉鵬飛
• 申請（專利權）人: 新疆東方希望新能源有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 韓雪

1.并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，包括有多組還原爐組，多組氯硅烷尾氣回收裝置，以及多根與還原爐組、氯硅烷尾氣回收裝置相對應的回收管路，所述回收管路并行設置，還原爐組的出氣口通過回收管路而與氯硅烷尾氣回收裝置的進氣口對應連通，其特征在于：相鄰的兩回收管路通過設置于兩者之間的跨接管路而相互連通。

2.如權利要求1所述的并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于：所述跨接管路上設有多個并聯(lián)的跨接截止閥。

3.如權利要求2所述的并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于：所述跨接截止閥的數量為3個。

4.如權利要求2所述的并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于：所述跨接管路的兩端分別通過串接第一閘閥和第二閘閥而與對應側的回收管路相連通。

5.如權利要求1至4中任意一項所述的并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于：所述還原爐組，回收管路，及氯硅烷尾氣回收裝置的數量均為5組。

6.如權利要求1所述的并聯(lián)式氯硅烷尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于：所述跨接管路上還串接有緩沖罐。