[實用新型]一種石英舟

有效

• 申請號: 201922198492.0
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN210535640U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 趙迎財;金井升;張昕宇
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田媛媛

本申請公開了一種石英舟，包括一對相對設置的側支撐桿，一根底支撐桿，一對相對設置的端板；所述側支撐桿和所述底支撐桿呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述側支撐桿和所述底支撐桿的多個槽孔。可見，本申請中的石英舟具有兩根側支撐桿、一根底支撐桿和應與固定側支撐桿和底支撐桿的兩塊端板，側支撐桿和底支撐桿呈倒三角形狀分布，與現有技術相比，將端板之間的支撐桿的數量減少至三根，減小石英舟在爐管內占據的體積，降低石英舟對氣流流通性的影響，從而增強擴散的均勻性，并且，端板之間的支撐桿的數量減少還能減小硅片與支撐桿的接觸區域，減少硅片表面的卡槽印。

技術領域

本申請涉及太陽能電池生產技術領域，特別是涉及一種石英舟。

背景技術

石英舟是承載硅片的器具，在硅片擴散工藝中，將硅片置于石英舟中，并將石英舟放入高溫擴散爐中進行擴散，形成PN結。

現有的石英舟一般由四根橫桿和兩個分別用于固定橫桿兩端的端板組成。由于石英舟在高溫擴散爐的爐管中占據一定位置，對氣流的均勻分布往往有負面的影響，不利于氣流的流通，造成硅片附近氣流不均勻，從而造成擴散的不均勻。

因此，如何降低石英舟對擴散工藝的影響是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本申請的目的是提供一種石英舟，以降低石英舟對擴散工藝的影響。

為解決上述技術問題，本申請提供一種石英舟，包括一對相對設置的側支撐桿，一根底支撐桿，一對相對設置的端板；

所述側支撐桿和所述底支撐桿呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述側支撐桿和所述底支撐桿的多個槽孔。

可選的，還包括：

位于所述端板之間的支撐板，且所述支撐板具有分別與所述側支撐桿的截面尺寸和所述底支撐桿的截面尺寸相匹配的通孔。

可選的，所述支撐板為中空型支撐板。

可選的，所述側支撐桿的內側和所述底支撐桿的內側均具有凹槽。

可選的，位于所述側支撐桿的所述凹槽的橫截面為梯形。

可選的，還包括：

與所述端板和所述支撐板固定連接的著力部。

本申請所提供的石英舟，包括一對相對設置的側支撐桿，一根底支撐桿，一對相對設置的端板；所述側支撐桿和所述底支撐桿呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述側支撐桿和所述底支撐桿的多個槽孔。可見，本申請中的石英舟具有兩根側支撐桿、一根底支撐桿和應與固定側支撐桿和底支撐桿的兩塊端板，側支撐桿和底支撐桿呈倒三角形狀分布，與現有技術相比，將端板之間的支撐桿的數量減少至三根，減小石英舟在爐管內占據的體積，降低石英舟對氣流流通性的影響，從而增強擴散的均勻性，并且，端板之間的支撐桿的數量減少還能減小硅片與支撐桿的接觸區域，減少硅片表面的卡槽印。

附圖說明

為了更清楚的說明本申請實施例或現有技術的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請書實施例所提供的一種石英舟的俯視圖；

圖2為本申請實施例所提供的一種石英舟的側視圖；

圖3為本申請實施例所提供的一種石英舟的正視圖；

圖4為本申請實施例所提供的一種石英舟的俯視圖；

圖5為本申請實施例所提供的另一種石英舟的俯視圖。

具體實施方式