[實用新型]一種石英舟有效
| 申請號: | 201922198492.0 | 申請日: | 2019-12-10 |
| 公開(公告)號: | CN210535640U | 公開(公告)日: | 2020-05-15 |
| 發明(設計)人: | 趙迎財;金井升;張昕宇 | 申請(專利權)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 田媛媛 |
| 地址: | 314416 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 | ||
1.一種石英舟,其特征在于,包括一對相對設置的側支撐桿,一根底支撐桿,一對相對設置的端板;
所述側支撐桿和所述底支撐桿呈倒三角分布,所述端板具有用于固定所述側支撐桿和所述底支撐桿的多個槽孔。
2.如權利要求1所述的石英舟,其特征在于,還包括:
位于所述端板之間的支撐板,且所述支撐板具有分別與所述側支撐桿的截面尺寸和所述底支撐桿的截面尺寸相匹配的通孔。
3.如權利要求2所述的石英舟,其特征在于,所述支撐板為中空型支撐板。
4.如權利要求3所述的石英舟,其特征在于,所述側支撐桿的內側和所述底支撐桿的內側均具有凹槽。
5.如權利要求4所述的石英舟,其特征在于,位于所述側支撐桿的所述凹槽的橫截面為梯形。
6.如權利要求5所述的石英舟,其特征在于,還包括:
與所述端板和所述支撐板固定連接的著力部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





