[實用新型]一種光伏擴散在線自動化設備有效
| 申請號: | 201922196288.5 | 申請日: | 2019-12-10 |
| 公開(公告)號: | CN211045402U | 公開(公告)日: | 2020-07-17 |
| 發明(設計)人: | 林佳繼;裴維維;馬力 | 申請(專利權)人: | 拉普拉斯(無錫)半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務所 32225 | 代理人: | 孫彬 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 擴散 在線 自動化 設備 | ||
本實用新型公開了一種光伏擴散在線自動化設備,包括第一工作模塊和第二工作模塊,第一工作模塊包括第一框架、對接輸送機和石英舟搬運機構,第二工作模塊包括第二框架、石英舟周轉機構、抱片機構、倒片機構、分合片機構和裝卸料機構。本實用新型具有穩定性好、碎片率低、自動化程度高的優點,具有較強的市場競爭優勢。
技術領域
本實用新型屬于光伏生產設備領域,具體地說,涉及一種光伏擴散自動化設備。
背景技術
人類的發展離不開能源的支持,目前的礦石能源存在著儲備量有限,不可再生,污染環境的問題,太陽能作為最清潔的能源,儲量大,正越來越多的被應用。太陽能的利用,離不開光伏電池片,隨著國家大力發展光伏產業,為了使太陽能的能源轉換率更高,對光伏電池片生產的要求也越來越高,目前,光伏電池片的生產自動化程度不高,生產過程中光伏電池片的碎片率高,生產企業之間的競爭越來越大,倒逼著生產企業對生產設備做更進一步的改進,以提高效能,降低成本。
實用新型內容
為解決現有技術存在的自動化程度不高、光伏電池片碎片率高、生產效能不高的缺陷,本實用新型提供自動化程度高,光伏電池片碎片率低,生產效能高的設備。
為實現上述目的,本實用新型提供一種光伏擴散在線自動化設備,它包括第一工作模塊和第二工作模塊,所述第一工作模塊包括第一框架、對接輸送機和石英舟搬運機構,所述對接輸送機數量為2且對稱設置在第一框架的兩側,所述石英舟搬運機構設置在兩個對接輸送機的中間,所述第二工作模塊包括第二框架、石英舟周轉機構、抱片機構、倒片機構、分合片機構和裝卸料機構,所述石英舟周轉機構設置在第一工作模塊和第二工作模塊之間,所述抱片機構呈倒U型,所述抱片機構設置在石英舟周轉機構上方,所述倒片機構數量為2且對稱設置在石英舟周轉機構兩側,所述分合片機構呈倒U型,所述分合片機構設置在倒片機構的上方,所述裝卸料機構數量為2且對稱設置在倒片機構的兩側,所述對接輸送機和石英舟搬運機構均設置在第一框架上,所述石英舟周轉機構、抱片機構、倒片機構、分合片機構和裝卸料機構均設置在第二框架上;
進一步的,所述對接輸送機包括輸送機升降組件、第一輸送機、第二輸送機和輸送機橫移組件,所述輸送機升降組件和輸送機橫移組件均設置在第一框架上,第一輸送機設置在輸送機升降組件上,第二輸送機設置在輸送機橫移組件上;
進一步的,所述石英舟搬運機構包括機器人和搬運夾爪,所述機器人設置在第一框架上,所述搬運夾爪設置在機器人上;
所述石英舟周轉機構包括周轉機構頂齒升降組件、周轉機構定位平臺、周轉機構規整組件和石英舟移動組件,所述周轉機構頂齒升降組件設置在第二框架上,所述周轉機構定位平臺設置在周轉機構頂齒升降組件上,所述石英舟移動組件設置在周轉機構定位平臺上,所述周轉機構規整組件設置在周轉機構定位平臺上;
進一步的,所述抱片機構包括抱片機構支架、抱片機構左右移動滑軌、抱片機構升降組件、抱片機構左右移動齒輪齒條、抱片機構左右移動電機和抱齒,所述抱片機構支架設置在第二框架上,所述抱片機構支架連接抱片機構左右移動滑軌,所述抱片機構升降組件通過抱片機構左右移動齒輪齒條與抱片機構左右移動滑軌連接,所述抱片機構左右移動電機設置在抱片機構升降組件上,所述抱片機構左右移動電機與抱片機構左右移動齒輪齒條連接,所述抱齒設置在抱片機構升降組件上;
進一步的,所述倒片機構包括第一倒片組件、第一倒片機構頂齒升降組件、第二倒片組件和第二倒片機構頂齒升降組件,所述第一倒片機構頂齒升降組件與第二倒片機構頂齒升降組件均設置在第二框架上,所述第一倒片組件設置在第一倒片機構頂齒升降組件上,所述第二倒片組件設置在第二倒片機構頂齒升降組件上;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





