[實(shí)用新型]一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201922196288.5 | 申請(qǐng)日: | 2019-12-10 |
| 公開(公告)號(hào): | CN211045402U | 公開(公告)日: | 2020-07-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林佳繼;裴維維;馬力 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 拉普拉斯(無錫)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225 | 代理人: | 孫彬 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 擴(kuò)散 在線 自動(dòng)化 設(shè)備 | ||
1.一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,包括第一工作模塊(1)和第二工作模塊(2),其特征在于,所述第一工作模塊(1)包括第一框架(11)、對(duì)接輸送機(jī)(3)和石英舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(4),所述對(duì)接輸送機(jī)(3)數(shù)量為2,所述石英舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(4)設(shè)置在兩個(gè)對(duì)接輸送機(jī)(3)之間,所述第二工作模塊(2)包括第二框架(21)、石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)、抱片機(jī)構(gòu)(6)、倒片機(jī)構(gòu)(7)、分合片機(jī)構(gòu)(8)和裝卸料機(jī)構(gòu)(9),所述石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)設(shè)置在第一工作模塊(1)與第二工作模塊(2)之間,所述石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)上方設(shè)有抱片機(jī)構(gòu)(6),所述抱片機(jī)構(gòu)(6)呈倒U型,所述倒片機(jī)構(gòu)(7)數(shù)量為2且對(duì)稱設(shè)置在石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)兩側(cè),所述分合片機(jī)構(gòu)(8)呈倒U型設(shè)置在倒片機(jī)構(gòu)(7)上,所述裝卸料機(jī)構(gòu)(9)數(shù)量為2且對(duì)稱設(shè)置在倒片機(jī)構(gòu)(7)兩側(cè),所述對(duì)接輸送機(jī)(3)和石英舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(4)均設(shè)置在第一框架(11)上,所述石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)、抱片機(jī)構(gòu)(6)、倒片機(jī)構(gòu)(7)、分合片機(jī)構(gòu)(8)和裝卸料機(jī)構(gòu)(9)均設(shè)置在第二框架(21)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,其特征在于,所述對(duì)接輸送機(jī)(3)包括輸送機(jī)升降組件(31)、第一輸送機(jī)(32)、第二輸送機(jī)(33)和輸送機(jī)橫移組件(34),所述輸送機(jī)升降組件(31)和輸送機(jī)橫移組件(34)均設(shè)置在第一框架(11)上,所述第一輸送機(jī)(32)設(shè)置在輸送機(jī)升降組件(31)上部,所述第二輸送機(jī)(33)設(shè)置在輸送機(jī)橫移組件(34)上部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,其特征在于,所述石英舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(4)包括機(jī)器人(41)和搬運(yùn)夾爪(42),所述機(jī)器人(41)設(shè)置在第一框架(11)上,所述搬運(yùn)夾爪(42)設(shè)置在機(jī)器人(41)上部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,其特征在于,所述石英舟周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)包括周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(51)、周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)定位平臺(tái)(52)、周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)規(guī)整組件(53)和石英舟移動(dòng)組件(54),所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(51)設(shè)置在第二框架(21)上,所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)定位平臺(tái)(52)設(shè)置在周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(51)上部,所述石英舟移動(dòng)組件(54)設(shè)置在周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)定位平臺(tái)(52)上部,所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)規(guī)整組件(53)設(shè)置在周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)定位平臺(tái)(52)上部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,其特征在于,所述抱片機(jī)構(gòu)(6)包括抱片機(jī)構(gòu)支架(61)、抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)滑軌(62)、抱片機(jī)構(gòu)升降組件(63)、抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)齒輪齒條(64)、抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)電機(jī)(65)和抱齒(66),所述抱片機(jī)構(gòu)支架(61)設(shè)置在第二框架(21)上,所述抱片機(jī)構(gòu)支架(61)連接抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)滑軌(62),所述抱片機(jī)構(gòu)升降組件(63)通過抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)齒輪齒條(64)與抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)滑軌(62)連接,所述抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)電機(jī)(65)設(shè)置在抱片機(jī)構(gòu)升降組件(63)上,所述抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)電機(jī)(65)與抱片機(jī)構(gòu)左右移動(dòng)齒輪齒條(64)連接,所述抱齒(66)設(shè)置在抱片機(jī)構(gòu)升降組件(63)下部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏擴(kuò)散在線自動(dòng)化設(shè)備,其特征在于,所述倒片機(jī)構(gòu)(7)包括第一倒片組件(71)、第一倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(72)、第二倒片組件(73)和第二倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(74),所述第一倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(72)與第二倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(74)均設(shè)置在第二框架(21)上,所述第一倒片組件(71)設(shè)置在第一倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(72)上部,所述第二倒片組件(73)設(shè)置在第二倒片機(jī)構(gòu)頂齒升降組件(74)上部。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 用于呈現(xiàn)在線實(shí)體在線狀態(tài)的系統(tǒng)和方法
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