[實用新型]一種可自動換水的晶圓存放盒

有效

• 申請號: 201922187821.1
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN211108689U
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 胡建軍
• 申請（專利權）人: 蘇州英爾捷半導體有限公司
• 主分類號: B65D25/02
• 分類號: B65D25/02;B65D25/52;B65D81/22;B65D85/86;B65D25/20;B65D81/05
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 徐永雷

本實用新型公開了一種可自動換水的晶圓存放盒，包括主體和內管，所述主體的中部設置有箱體，且箱體的頂端開設有桶口，所述桶口的底部固定有底盤，所述箱體的中部設置有內籠，所述內籠的底端設置有海綿墊，所述箱體的左右兩端設置有手把，所述箱體的右側設置有水泵，所述箱體的中部設置有固定管，所述內管設置于固定管的內壁。該可自動換水的晶圓存放盒設置有內籠，便于使用者將完成好的晶圓進行取出，內籠的底部設置有海綿墊，有效的起到防護的作用，使用者將存放盒注滿水，防止晶圓自然干燥后表面留下水痕或者其它污漬，難以清理，為后面清洗烘干等工序做準備，內籠通過滾輪在箱體的后端的滑槽進行滑動，有效的將晶圓向上推動。

技術領域

本實用新型涉及晶圓存放盒技術領域，具體為一種可自動換水的晶圓存放盒。

背景技術

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999％，晶圓制造廠再把此多晶硅融解，再于融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態的硅原料中逐漸生成，此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經過切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為積體電路工廠的基本原料——硅晶圓片，這就是“晶圓。

市場上的晶圓存放盒使用過程中不便于將晶圓進行存放，給使用者帶來了不適，并且其以前的存放裝置存放的過程中容易留下水痕與其它雜質，難以清理，給使用者帶來了麻煩的問題，為此，我們提出一種清潔效率更高的晶圓存放盒。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可自動換水的晶圓存放盒，以解決上述背景技術中提出的晶圓存放盒使用過程中不便于將晶圓進行存放，給使用者帶來了不適，并且其以前的存放裝置存放的過程中容易留下水痕與其它雜質，難以清理，給使用者帶來了麻煩的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種可自動換水的晶圓存放盒，包括主體和內管，所述主體的中部設置有箱體，且箱體的頂端開設有桶口，所述桶口的底部固定有底盤，所述箱體的中部設置有內籠，所述內籠的底端設置有海綿墊，所述箱體的左右兩端設置有手把，所述箱體的右側設置有水泵，所述箱體的中部設置有固定管，所述內管設置于固定管的內壁。

優選的，所述內籠包括滾輪和滑槽，且內籠的后端設置有滾輪，所述內籠的頂端設置有滑槽。

優選的，所述內籠通過滾輪與滑槽構成滑動結構，且滾輪與滑槽之間為緊密貼合。

優選的，所述水泵包括連接管和水箱，且水泵的左右兩端連接有連接管，所述連接管的右端設置有水箱。

優選的，所述水泵與連接管之間為緊密貼合，且水箱與連接管之間為活動連接。

優選的，所述固定管與內管之間為固定連接，且內管關于固定管的中心對稱分布。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、該可自動換水的晶圓存放盒設置有內籠，便于使用者將完成好的晶圓進行取出，內籠的底部設置有海綿墊，有效的起到防護的作用，使用者將存放盒注滿水，防止晶圓自然干燥后表面留下水痕或者其它污漬，難以清理，為后面清洗烘干等工序做準備，內籠通過滾輪在箱體的后端的滑槽進行滑動，有效的將晶圓向上推動，通過水的晃動與提拉，有效的將內籠的晶圓向上提拉，便于使用者將晶圓通過水的晃動取出，防止使用者直接將晶圓撈起受到磨損；

2、該可自動換水的晶圓存放盒設置有連接管，水泵通過連接管抽取水箱內的水進入箱體進行循環式注水，通過連接管與箱體之間的連接，有效的的將箱體的水進行定時自動換水，箱體的內部放置使用者手動進行定時，定時器進行準確定時注入水，換水存放盒可以防止因為等待清洗而導致表面硅粉殘留和氧化發生；