[實用新型]一種可自動換水的晶圓存放盒有效
| 申請號: | 201922187821.1 | 申請日: | 2019-12-09 |
| 公開(公告)號: | CN211108689U | 公開(公告)日: | 2020-07-28 |
| 發明(設計)人: | 胡建軍 | 申請(專利權)人: | 蘇州英爾捷半導體有限公司 |
| 主分類號: | B65D25/02 | 分類號: | B65D25/02;B65D25/52;B65D81/22;B65D85/86;B65D25/20;B65D81/05 |
| 代理公司: | 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385 | 代理人: | 徐永雷 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 自動 存放 | ||
1.一種可自動換水的晶圓存放盒,包括主體(1)和內管(10),其特征在于:所述主體(1)的中部設置有箱體(2),且箱體(2)的頂端開設有桶口(3),所述桶口(3)的底部固定有底盤(4),所述箱體(2)的中部設置有內籠(5),所述內籠(5)的底端設置有海綿墊(6),所述箱體(2)的左右兩端設置有手把(7),所述箱體(2)的右側設置有水泵(8),所述箱體(2)的中部設置有固定管(9),所述內管(10)設置于固定管(9)的內壁。
2.根據權利要求1所述的一種可自動換水的晶圓存放盒,其特征在于:所述內籠(5)包括滾輪(501)和滑槽(502),且內籠(5)的后端設置有滾輪(501),所述內籠(5)的頂端設置有滑槽(502)。
3.根據權利要求2所述的一種可自動換水的晶圓存放盒,其特征在于:所述內籠(5)通過滾輪(501)與滑槽(502)構成滑動結構,且滾輪(501)與滑槽(502)之間為緊密貼合。
4.根據權利要求1所述的一種可自動換水的晶圓存放盒,其特征在于:所述水泵(8)包括連接管(801)和水箱(802),且水泵(8)的左右兩端連接有連接管(801),所述連接管(801)的右端設置有水箱(802)。
5.根據權利要求4所述的一種可自動換水的晶圓存放盒,其特征在于:所述水泵(8)與連接管(801)之間為緊密貼合,且水箱(802)與連接管(801之間為活動連接。
6.根據權利要求1所述的一種可自動換水的晶圓存放盒,其特征在于:所述固定管(9)與內管(10)之間為固定連接,且內管(10)關于固定管(9)的中心對稱分布。
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