[實用新型]一種光刻機用上版夾具

有效

• 申請號: 201922185215.6
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN211015013U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 王偉
• 申請（專利權）人: 浙江上峰包裝新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州銘恒知識產權代理事務所(普通合伙) 32463
• 代理人: 吳月琴

本實用新型公開了一種光刻機用上版夾具，包括裝置主體、吸氣頭和吸氣泵，所述裝置主體的上側安裝有吸盤，且吸盤之間固定有外支桿，所述裝置主體側邊開設有調節滑槽，且調節滑槽的外側設置有外擋塊和限位件，所述外擋塊的中間固定有調節桿，且調節桿上固定有內擋塊，所述內擋塊位于裝置主體的內部，且裝置主體的上側開設有位移槽，所述吸盤穿過位移槽與吸氣頭相連接，且吸氣頭的下端連接有吸氣泵。該光刻機用上版夾具，可以使用吸附的方式完成對芯片板材的固定工作，同時吸盤之間設置有外支桿，通過外支桿的設置，也可以對芯片板材進行夾持固定，從而通過吸盤和外支桿配合工作，便可以保證芯片板材的固定狀態穩定安全。

技術領域

本實用新型涉及光刻機技術領域，具體為一種光刻機用上版夾具。

背景技術

光刻機是芯片制造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用于生產芯片的光刻機；有用于封裝的光刻機；還有用于LED制造領域的投影光刻機，在光刻機的使用中，通常都會配用上版夾具，用于固定芯片板材，而目前一些上版夾具在使用中存在一定的問題。

例如，有的上版夾具對于芯片板材的固定方式過于單一，無法保證芯片板材固定狀態的問題，還有的上版夾具整體結構較為復雜，無法高效的完成對芯片板材的固定工作。

所以我們提出了一種光刻機用上版夾具，以便于解決上述中提出的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光刻機用上版夾具，以解決上述背景技術提出的目前有的上版夾具對于芯片板材的固定方式過于單一，還有的上版夾具整體結構較為復雜，無法高效的完成對芯片板材固定工作的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種光刻機用上版夾具，包括裝置主體、吸氣頭和吸氣泵，所述裝置主體的上側安裝有吸盤，且吸盤之間固定有外支桿，所述裝置主體側邊開設有調節滑槽，且調節滑槽的外側設置有外擋塊和限位件，并且外擋塊和限位件之間安裝有彈簧，所述外擋塊的中間固定有調節桿，且調節桿上固定有內擋塊，所述內擋塊位于裝置主體的內部，且裝置主體的上側開設有位移槽，所述吸盤穿過位移槽與吸氣頭相連接，且吸氣頭的下端連接有吸氣泵，所述吸氣頭的外側連接有控制架，且控制架的中間通過第一轉桿與裝置主體相連接，所述控制架的下端安裝有連接桿，且連接桿上連接有第二轉桿，并且第二轉桿的一端與調節桿相連接，所述控制架的上端開設有驅動滑槽，且驅動滑槽的內部連接有吸氣頭。

優選的，所述吸盤通過位移槽在裝置主體的上側面構成滑動結構，且吸盤的下端通過驅動滑槽與控制架之間為活動卡合連接。

優選的，所述外支桿位于吸盤之間，且外支桿的前端呈L型，并且外支桿的前端高度等于吸盤的高度。

優選的，所述調節滑槽的內側邊為鋸齒形結構，且限位件內端頭為正四棱柱結構，并且限位件前端嵌入調節滑槽內，并與之尺寸吻合相連接。

優選的，所述限位件套接在調節桿上，且限位件位于裝置主體的外側，并且限位件整體為階梯型。

優選的，所述控制架通過第一轉桿在裝置主體內部構成轉動結構，且控制架的下端通過第二轉桿與連接桿之間為活動連接，并且連接桿的另一端與調節桿之間為活動連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該光刻機用上版夾具；

（1）在裝置主體上側設置有吸盤，可以使用吸附的方式完成對芯片板材的固定工作，同時吸盤之間設置有外支桿，通過外支桿的設置，也可以對芯片板材進行夾持固定，從而通過吸盤和外支桿配合工作，便可以保證芯片板材的固定狀態穩定安全；

（2）在裝置主體的內部設置有調節桿、控制架和連接桿，通過其組成的連桿機構，能夠自由控制吸盤和外支桿在裝置主體上側的位置，從而能夠方便吸盤和外支桿對芯片板材的固定工作，提高了芯片板材的固定效率，同時組成的連桿機構整體也較為簡單，方便進行檢修，提高了該上版夾具的使用性能。