[實用新型]一種光刻機用上版夾具

有效

• 申請號: 201922185215.6
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN211015013U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 王偉
• 申請（專利權）人: 浙江上峰包裝新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州銘恒知識產權代理事務所(普通合伙) 32463
• 代理人: 吳月琴

1.一種光刻機用上版夾具，包括裝置主體（1）、吸氣頭（11）和吸氣泵（12），其特征在于：所述裝置主體（1）的上側安裝有吸盤（2），且吸盤（2）之間固定有外支桿（3），所述裝置主體（1）側邊開設有調節滑槽（4），且調節滑槽（4）的外側設置有外擋塊（5）和限位件（6），并且外擋塊（5）和限位件（6）之間安裝有彈簧（7），所述外擋塊（5）的中間固定有調節桿（9），且調節桿（9）上固定有內擋塊（8），所述內擋塊（8）位于裝置主體（1）的內部，且裝置主體（1）的上側開設有位移槽（10），所述吸盤（2）穿過位移槽（10）與吸氣頭（11）相連接，且吸氣頭（11）的下端連接有吸氣泵（12），所述吸氣頭（11）的外側連接有控制架（13），且控制架（13）的中間通過第一轉桿（14）與裝置主體（1）相連接，所述控制架（13）的下端安裝有連接桿（15），且連接桿（15）上連接有第二轉桿（16），并且第二轉桿（16）的一端與調節桿（9）相連接，所述控制架（13）的上端開設有驅動滑槽（17），且驅動滑槽（17）的內部連接有吸氣頭（11）。

2.根據權利要求1所述的一種光刻機用上版夾具，其特征在于：所述吸盤（2）通過位移槽（10）在裝置主體（1）的上側面構成滑動結構，且吸盤（2）的下端通過驅動滑槽（17）與控制架（13）之間為活動卡合連接。

3.根據權利要求1所述的一種光刻機用上版夾具，其特征在于：所述外支桿（3）位于吸盤（2）之間，且外支桿（3）的前端呈L型，并且外支桿（3）的前端高度等于吸盤（2）的高度。

4.根據權利要求1所述的一種光刻機用上版夾具，其特征在于：所述調節滑槽（4）的內側邊為鋸齒形結構，且限位件（6）內端頭為正四棱柱結構，并且限位件（6）前端嵌入調節滑槽（4）內，并與之尺寸吻合相連接。

5.根據權利要求1所述的一種光刻機用上版夾具，其特征在于：所述限位件（6）套接在調節桿（9）上，且限位件（6）位于裝置主體（1）的外側，并且限位件（6）整體為階梯型。

6.根據權利要求1所述的一種光刻機用上版夾具，其特征在于：所述控制架（13）通過第一轉桿（14）在裝置主體（1）內部構成轉動結構，且控制架（13）的下端通過第二轉桿（16）與連接桿（15）之間為活動連接，并且連接桿（15）的另一端與調節桿（9）之間為活動連接。