[實用新型]一種二氯硅烷的充裝裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922180710.8
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN211289562U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王占峰;楊利;于青玉
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江西亞特電子材料有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/00
• 代理公司: 衢州維創(chuàng)維邦專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33282
• 代理人: 劉奇

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：包括儲存罐、壓縮機、若干個充裝組件、輸氣管、充裝組件和抽氣組件；所述輸氣管的兩端分別與壓縮機和儲存罐連接，該輸氣管的兩端均設(shè)置有閥門，所述壓縮機與儲存罐相連通；所述充裝組件包括充裝管和固定在充裝管一端的充裝頭，所述充裝管的與輸氣管相連通，所述充裝管上設(shè)置有電動閥門，該充裝管上安裝有流量計；所述抽氣組件位于所述壓縮機和充裝組件之間，該抽氣組件包括抽氣管和真空泵，所述抽氣管的兩端分別與和真空泵和輸氣管連通，所述抽氣管上設(shè)置有閥門；本實用新型的有益效果是：充裝精準(zhǔn)，自動化程度高，充裝穩(wěn)定，減少充裝時二氯硅烷的浪費。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及物料充裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種二氯硅烷的充裝裝置。

背景技術(shù)

二氯硅烷是一種無色的有毒氣體，易燃，具腐蝕性、刺激性，可致人體灼傷；對上下呼吸道、皮膚和眼睛有腐蝕性和刺激性；二氯硅烷遇水或水蒸氣迅速水解形成氯化氫(鹽酸)，鹽酸可致皮膚灼傷和粘膜刺激；接觸二氯硅烷后表現(xiàn)有流淚、咳嗽、咳痰、呼吸困難、流涎等，可引起肺炎或肺水腫，眼接觸可致灼傷，導(dǎo)致失明；但二氯硅烷在工業(yè)上有著特別的用途，二氯硅烷通常用于制造半導(dǎo)體，尤其是在外延法工藝中作為硅源。

二氯硅烷在使用時通常需要進行充裝，現(xiàn)有的二氯硅烷充裝裝置充裝不精準(zhǔn)且物料浪費嚴(yán)重。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種充裝精準(zhǔn)的二氯硅烷的充裝裝置。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：包括儲存有二氯硅烷的儲存罐、用于提供充裝動力的壓縮機、若干個充裝組件、用于輸送二氯硅烷的輸氣管以及設(shè)置在輸氣管上的充裝組件和抽氣組件；所述輸氣管的兩端分別與壓縮機的輸出端以及儲存罐的進氣口連通，該輸氣管的兩端均設(shè)置有控制輸氣管通斷的閥門，所述壓縮機的輸入端與儲存罐的出氣口連通；所述充裝組件包括充裝管和充裝頭，所述充裝頭用于與待充裝瓶的進氣口密封連接，所述充裝管的一端與輸氣管相連通，該充裝管的另一端與充裝頭固定連接，所述充裝管上設(shè)置有控制充裝管通斷的電動閥門，該充裝管上還安裝有用于顯示充裝管內(nèi)通過二氯硅烷量的流量計；所述抽氣組件位于所述壓縮機和充裝組件之間，所述抽氣組件包括抽氣管和真空泵，所述抽氣管的一端與所述輸氣管連通，該抽氣管的另一端與所述真空泵的輸入端連通，所述抽氣管上設(shè)置有控制其通斷的閥門。

優(yōu)選為：所述充裝組件還包括用于控制電動閥門的自動控制器，所述自動控制器與流量計電連接，所述流量計可根據(jù)待充裝瓶的大小設(shè)定流量值，當(dāng)通過充裝管內(nèi)的流量達到設(shè)定流量值時，流量計將信號傳遞至自動控制器，自動控制器自動控制電動閥門關(guān)閉。

優(yōu)選為：所述充裝組件還包括警報器，所述警報器與自動控制器電連接，該警報器啟動時會發(fā)出刺耳的提示聲。

優(yōu)選為：所述充裝組件還包括警示燈，所述警報器與自動控制器電連接，所述警示燈分為兩種狀態(tài)，在二氯硅烷在充裝時警示燈顯示紅光，當(dāng)流量計的顯示流量達到設(shè)定值時自動控制器控制警示燈發(fā)出綠光。

優(yōu)選為：所述抽氣組件還包括用于處理廢氣的廢棄處理機構(gòu)，所述廢氣處理機構(gòu)與所述真空泵的輸出端連通。

優(yōu)選為：所述廢氣處理機構(gòu)包括廢氣管和反應(yīng)筒，所述廢氣管的一端與真空泵的輸出端相連通，該廢氣管的另一端與所述反應(yīng)筒相連通，所述反應(yīng)筒內(nèi)設(shè)置有堿液。