[實用新型]一種二氯硅烷的充裝裝置

有效

• 申請號: 201922180710.8
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN211289562U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 王占峰;楊利;于青玉
• 申請（專利權）人: 浙江西亞特電子材料有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/00
• 代理公司: 衢州維創維邦專利代理事務所(普通合伙) 33282
• 代理人: 劉奇

1.一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：包括儲存有二氯硅烷的儲存罐、用于提供充裝動力的壓縮機、若干個充裝組件、用于輸送二氯硅烷的輸氣管以及設置在輸氣管上的充裝組件和抽氣組件；所述輸氣管的兩端分別與壓縮機的輸出端以及儲存罐的進氣口連通，該輸氣管的兩端均設置有閥門，所述壓縮機的輸入端與儲存罐的出氣口連通；所述充裝組件包括充裝管和充裝頭，所述充裝管的一端與輸氣管相連通，該充裝管的另一端與充裝頭固定連接，所述充裝管上設置有電動閥門，該充裝管上還安裝有用于顯示充裝管內通過二氯硅烷量的流量計；所述抽氣組件位于所述壓縮機和充裝組件之間，所述抽氣組件包括抽氣管和真空泵，所述抽氣管的一端與所述輸氣管連通，該抽氣管的另一端與所述真空泵的輸入端連通，所述抽氣管上設置有閥門。

2.根據權利要求1所述的一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：所述充裝組件還包括用于控制電動閥門的自動控制器，所述自動控制器與流量計電連接。

3.根據權利要求2所述的一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：所述充裝組件還包括警報器，所述警報器與自動控制器電連接。

4.根據權利要求2或3所述的一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：所述充裝組件還包括警示燈，所述警示燈與自動控制器電連接。

5.根據權利要求1所述的一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：所述抽氣組件還包括用于處理廢氣的廢氣處理機構，所述廢氣處理機構與所述真空泵的輸出端連通。

6.根據權利要求5所述的一種二氯硅烷的充裝裝置，其特征在于：所述廢氣處理機構包括廢氣管和反應筒，所述廢氣管的一端與真空泵的輸出端相連通，該廢氣管的另一端與所述反應筒相連通，所述反應筒內設置有堿液。