[實用新型]一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922170659.2
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN211334202U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒楊;孫蕾;鄒松東
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽奧爾材料科技有限公司
• 主分類號: B29C33/38
• 分類號: B29C33/38;C23C14/00
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• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，包括真空鍍膜室，所述真空鍍膜室左側(cè)的頂部與底部均連通有與其固定連接的引出直管，兩個所述引出直管的左側(cè)均固定連接有彎管，兩個所述彎管遠(yuǎn)離引出直管的一端均固定連接有固定靶座，兩個所述固定靶座相對的一側(cè)均固定連接有電弧源，兩個所述彎管的外側(cè)均套設(shè)有與其固定連接的水冷管道，兩個所述水冷管道的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的穩(wěn)弧線圈，兩個所述水冷管道的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的聚焦線圈。該實用新型，解決了不能明顯改善液滴現(xiàn)象，導(dǎo)致膜層的大顆粒太多，會嚴(yán)重影響微小徑工模具的使用特性的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

公知的，隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，真空鍍膜的技術(shù)已經(jīng)得到普遍應(yīng)用，在鍍制薄膜時，較少膜層的大顆粒是一個重要的問題，膜層的大顆粒(液滴)太多，會嚴(yán)重影響微小徑工模具的使用特性，膜層大顆粒是指在電弧放電過程中，會產(chǎn)生液滴，它與電弧放電的功率有關(guān)。

現(xiàn)有的真空鍍膜主要采用增加電弧源水冷效果和降低放電功率來改善液滴現(xiàn)象，但是這些手段都不能帶來明顯的改善，導(dǎo)致膜層的大顆粒(液滴)太多，會嚴(yán)重影響微小徑工模具的使用特性，為此提供了一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)來解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，具有過濾電弧產(chǎn)生的大顆粒，在微小徑工模具上沉積一層超硬、摩擦系數(shù)超低的納米多層膜的優(yōu)點，解決了不能明顯改善液滴現(xiàn)象，導(dǎo)致膜層的大顆粒太多，會嚴(yán)重影響微小徑工模具的使用特性的問題。

(二)技術(shù)方案

為實現(xiàn)上述過濾電弧產(chǎn)生的大顆粒，在微小徑工模具上沉積一層超硬、摩擦系數(shù)超低的納米多層膜的目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，包括真空鍍膜室，所述真空鍍膜室左側(cè)的頂部與底部均連通有與其固定連接的引出直管，兩個所述引出直管的左側(cè)均固定連接有彎管，兩個所述彎管遠(yuǎn)離引出直管的一端均固定連接有固定靶座，兩個所述固定靶座相對的一側(cè)均固定連接有電弧源，兩個所述彎管的外側(cè)均套設(shè)有與其固定連接的水冷管道，兩個所述水冷管道的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的穩(wěn)弧線圈，兩個所述水冷管道的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的聚焦線圈，兩個所述穩(wěn)弧線圈分別與兩個所述聚焦線圈接觸，兩個所述引出直管的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的引出線圈，所述真空鍍膜室的右側(cè)固定連接有安裝箱，所述安裝箱的內(nèi)部固定安裝有電機，所述電機的輸出軸上固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的左端依次貫穿安裝箱和真空鍍膜室，所述轉(zhuǎn)軸的左端延伸至真空鍍膜室的內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)軸與真空鍍膜室轉(zhuǎn)動連接，所述轉(zhuǎn)軸的左端固定連接有旋轉(zhuǎn)基片臺，所述旋轉(zhuǎn)基片臺的左側(cè)開設(shè)有均勻分布的凸形孔，所述凸形孔的內(nèi)部均固定連接有夾緊機構(gòu)，所述真空鍍膜室內(nèi)部的右側(cè)均固定連接有等距離排列的加熱器，所述加熱器均位于旋轉(zhuǎn)基片臺的右側(cè)。

優(yōu)選的，所述夾緊機構(gòu)均包括栓軸，所述栓軸上均套設(shè)有彈簧，所述彈簧的右端均與凸形孔固定連接，所述彈簧的左端均固定連接有夾板，所述夾板均與凸形孔滑動連接。

優(yōu)選的，兩個所述引出直管與兩個彎管之間均設(shè)置有絕緣圈，兩個所述絕緣圈分別與兩個引出直管和彎管固定連接。

優(yōu)選的，所述真空鍍膜室的右側(cè)嵌設(shè)有骨架油封，所述骨架油封的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸固定連接。

優(yōu)選的，所述安裝箱的內(nèi)部固定連接有減震墊，所述減震墊與電機固定連接。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，具備以下有益效果：