[實(shí)用新型]一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922170659.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211334202U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒楊;孫蕾;鄒松東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 洛陽(yáng)奧爾材料科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B29C33/38
• 分類(lèi)號(hào): B29C33/38;C23C14/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，包括真空鍍膜室(1)，其特征在于：所述真空鍍膜室(1)左側(cè)的頂部與底部均連通有與其固定連接的引出直管(2)，兩個(gè)所述引出直管(2)的左側(cè)均固定連接有彎管(3)，兩個(gè)所述彎管(3)遠(yuǎn)離引出直管(2)的一端均固定連接有固定靶座(4)，兩個(gè)所述固定靶座(4)相對(duì)的一側(cè)均固定連接有電弧源(5)，兩個(gè)所述彎管(3)的外側(cè)均套設(shè)有與其固定連接的水冷管道(6)，兩個(gè)所述水冷管道(6)的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的穩(wěn)弧線圈(7)，兩個(gè)所述水冷管道(6)的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的聚焦線圈(8)，兩個(gè)所述穩(wěn)弧線圈(7)分別與兩個(gè)所述聚焦線圈(8)接觸，兩個(gè)所述引出直管(2)的外側(cè)均繞設(shè)有與其固定連接的引出線圈(9)，所述真空鍍膜室(1)的右側(cè)固定連接有安裝箱(10)，所述安裝箱(10)的內(nèi)部固定安裝有電機(jī)(11)，所述電機(jī)(11)的輸出軸上固定連接有轉(zhuǎn)軸(12)，所述轉(zhuǎn)軸(12)的左端依次貫穿安裝箱(10)和真空鍍膜室(1)，所述轉(zhuǎn)軸(12)的左端延伸至真空鍍膜室(1)的內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)軸(12)與真空鍍膜室(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸(12)的左端固定連接有旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)(13)，所述旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)(13)的左側(cè)開(kāi)設(shè)有均勻分布的凸形孔(14)，所述凸形孔(14)的內(nèi)部均固定連接有夾緊機(jī)構(gòu)(15)，所述真空鍍膜室(1)內(nèi)部的右側(cè)均固定連接有等距離排列的加熱器(16)，所述加熱器(16)均位于旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)(13)的右側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述夾緊機(jī)構(gòu)(15)均包括栓軸(1501)，所述栓軸(1501)上均套設(shè)有彈簧(1502)，所述彈簧(1502)的右端均與凸形孔(14)固定連接，所述彈簧(1502)的左端均固定連接有夾板(1503)，所述夾板(1503)均與凸形孔(14)滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，其特征在于：兩個(gè)所述引出直管(2)與兩個(gè)彎管(3)之間均設(shè)置有絕緣圈(17)，兩個(gè)所述絕緣圈(17)分別與兩個(gè)引出直管(2)和彎管(3)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述真空鍍膜室(1)的右側(cè)嵌設(shè)有骨架油封(18)，所述骨架油封(18)的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸(12)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微小徑工模具納米涂層裝置結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述安裝箱(10)的內(nèi)部固定連接有減震墊(19)，所述減震墊(19)與電機(jī)(11)固定連接。