[實(shí)用新型]一種力控式擺臂組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922165782.5
• 申請(qǐng)日: 2019-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN210640217U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳勇伶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 盧春華

1.一種力控式擺臂組件，其特征在于：包括力臂座、力臂件、彈片件、拾取件及測(cè)力單元，彈片件設(shè)置于力臂座，力臂件設(shè)置于彈片件，拾取件設(shè)置于力臂件的一端并用于拾取外界的晶片，力臂件的另一端作用于測(cè)力單元，彈片件與力臂件的連接處位于拾取件與測(cè)力單元之間，外界的動(dòng)力機(jī)構(gòu)經(jīng)由力臂座驅(qū)動(dòng)力臂件使得拾取件作用于晶片，晶片經(jīng)由拾取件對(duì)力臂件的反作用力觸發(fā)測(cè)力單元，經(jīng)由測(cè)力單元所測(cè)得的力值大小調(diào)控動(dòng)力機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)力臂座的移動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力控式擺臂組件，其特征在于：測(cè)力單元包括力傳感器及與力傳感器電性連接的信號(hào)轉(zhuǎn)換器，力臂件的另一端作用于力傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的力控式擺臂組件，其特征在于：力臂座安裝有壓板，力傳感器分別連接至壓板及力臂件的另一端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力控式擺臂組件，其特征在于：力控式擺臂組件還包括調(diào)節(jié)單元，調(diào)節(jié)單元包括螺紋桿、螺母件及彈簧，螺紋桿設(shè)置于力臂件，螺紋桿與力臂件的連接處位于彈片件與測(cè)力單元之間，力臂座設(shè)有容設(shè)螺紋桿的凹孔，凹孔的孔徑大于螺紋桿的外徑，螺母件螺接套設(shè)在螺紋桿外側(cè)，彈簧套設(shè)在螺紋桿的外側(cè)，彈簧的兩端分別抵觸力臂座及螺母件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的力控式擺臂組件，其特征在于：力臂座設(shè)有讓位孔，力臂件的另一端活動(dòng)容設(shè)在讓位孔內(nèi)，凹孔與讓位孔連通；力臂座設(shè)有與讓位孔連通的槽孔，測(cè)力單元位于槽孔內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力控式擺臂組件，其特征在于：拾取件為吸嘴，吸嘴用于吸住外界的晶片，力臂件的一端設(shè)有兩個(gè)夾持部，兩個(gè)夾持部之間具有讓位間隙，兩個(gè)夾持部彼此靠近的一側(cè)均設(shè)有限位凹槽，吸嘴夾持在兩個(gè)夾持部之間并容設(shè)在限位凹槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的力控式擺臂組件，其特征在于：力臂件設(shè)有緊固件，緊固件貫穿兩個(gè)夾持部，緊固件調(diào)控兩個(gè)夾持部之間的讓位間隙的寬度大小進(jìn)而使得兩個(gè)夾持部穩(wěn)固夾住吸嘴。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力控式擺臂組件，其特征在于：彈片件采用金屬材料制成，彈片件大致為矩形平板，彈片件的兩端分別連接至力臂座及力臂件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的力控式擺臂組件，其特征在于：力臂件包括基部、分別設(shè)置于基部兩側(cè)的第一臂部及第二臂部，基部設(shè)置于彈片件，拾取件設(shè)置于第一臂部遠(yuǎn)離基部的一側(cè)；基部的厚度大于第二臂部的厚度，第二臂部位于力臂座內(nèi)，基部與力臂座之間具有間隙，第二臂部與力臂座之間具有間隙；第二臂部遠(yuǎn)離基部的一端作用于測(cè)力單元。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的力控式擺臂組件，其特征在于：第一臂部呈錐形，第一臂部遠(yuǎn)離基部的一端的外徑小于第一臂部靠近基部的一端的外徑；第一臂部包括第一板體，分別設(shè)置于第一板體同一側(cè)的第二板體及第三板體，連接第一板體、第二板體及第三板體的加強(qiáng)肋，第一板體、第二板體、第三板體均設(shè)有減料孔，減料孔貫穿板體。