[實(shí)用新型]一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922161531.X
• 申請(qǐng)日: 2019-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN211595779U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬毅;謝續(xù)友;黃先偉;俞越翎;張?zhí)┤A
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/56;C23C14/18
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 周紅芳

本實(shí)用新型公開了一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，包括纖維絲線、真空腔體、升降臺(tái)及靶材支座，所述真空腔體內(nèi)部在位于靶材支座一側(cè)的位置設(shè)有卷繞式纖維鍍膜裝置，所述卷繞式纖維鍍膜裝置包括卷繞裝置及絲架裝置，所述卷繞裝置對(duì)纖維絲線進(jìn)行放卷，并通過(guò)絲架裝置進(jìn)行張開后再通過(guò)卷繞裝置對(duì)纖維絲線進(jìn)行收卷。本實(shí)用新型的有益效果是：該裝置設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，使用方便，應(yīng)用本裝置為纖維進(jìn)行磁控濺射鍍膜，纖維絲線在滑輪之間繞動(dòng)，使纖維絲線上圓柱表面與下圓柱表面都能鍍到膜，保證了纖維鍍膜的全面性與均勻性，對(duì)纖維鍍膜的制造領(lǐng)域具有重要的意義。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空磁控濺射鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置。

背景技術(shù)

纖維鍍膜在實(shí)際應(yīng)用中具有很大的價(jià)值，鍍金屬纖維是一種以金屬為皮、非金屬纖維為芯的復(fù)合纖維，鍍金屬纖維按鍍膜金屬可分為：鍍鋅、鍍銀、鍍鋁、鍍鎳、鍍銅等，它除仍保留原有芯纖維的柔曲性及機(jī)械力學(xué)性能外，根據(jù)鍍層的不同，還具有對(duì)電磁波及紅外線的反射性能、導(dǎo)電性及延長(zhǎng)使用壽命等優(yōu)點(diǎn)。如鍍金屬玻璃纖維具有良好的電磁波反射性能，因此在軍事上用作對(duì)抗雷達(dá)的干擾絲，此外鍍銀的玻璃纖維能焊接，可作導(dǎo)線；鍍鋁的玻璃纖維能反射大量的熱能，可作高溫防護(hù)衣等。

在現(xiàn)有技術(shù)中，通常需要利用電化學(xué)方法在纖維上鍍膜，但是這種方法鍍鋁時(shí)，容易造成污染，并且鋁膜并不是很致密。本裝置涉及的磁控濺射是物理氣相沉積的一種，具有膜層附著力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，且對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染。但由于纖維的細(xì)小，在磁控濺射鍍膜中，就很難保證纖維表面能夠全面均勻地鍍膜，因此，如何保證鍍膜的全面性與均勻性，成為本實(shí)用新型亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種實(shí)現(xiàn)提高鍍膜全面性與均勻性的卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，包括纖維絲線、真空腔體、升降臺(tái)及靶材支座，其特征在于，所述真空腔體內(nèi)部在位于靶材支座一側(cè)的位置設(shè)有卷繞式纖維鍍膜裝置，所述卷繞式纖維鍍膜裝置包括卷繞裝置及絲架裝置，所述卷繞裝置對(duì)纖維絲線進(jìn)行放卷，并通過(guò)絲架裝置進(jìn)行張開后再通過(guò)卷繞裝置對(duì)纖維絲線進(jìn)行收卷。

所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述卷繞裝置包括電機(jī)、支撐座、小齒輪、大齒輪、傳動(dòng)軸、卷筒及支撐座，所述小齒輪設(shè)置在電機(jī)上，且小齒輪與大齒輪嚙合設(shè)置，所述傳動(dòng)軸穿設(shè)在支撐座上，且其一端與大齒輪相連，另一端與卷筒相連。

所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述絲架裝置包括支撐架、滑桿及滑輪組，所述滑輪組包括滑輪一、滑輪二及滑輪三，所述滑輪一及滑輪二分別設(shè)置在支撐架上，所述滑輪三設(shè)置在滑桿上。

所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述卷筒由上下兩線槽組成，其中下線槽底部設(shè)有截面為矩形的伸出端，并通過(guò)伸出端直接插入傳動(dòng)軸之中，從而實(shí)現(xiàn)連接與傳動(dòng)。

所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述滑桿可在支撐架上水平滑動(dòng)，所述支撐架上設(shè)有預(yù)緊螺釘，通過(guò)預(yù)緊螺釘能夠調(diào)節(jié)滑桿的水平位置，從而起到預(yù)緊的作用。

所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述滑輪一與滑輪三設(shè)置在同一平面，滑輪二與滑輪一、滑輪三均不在同一個(gè)平面上。

本實(shí)用新型的有益效果是：該裝置設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，使用方便，應(yīng)用本裝置為纖維進(jìn)行磁控濺射鍍膜，纖維絲線在滑輪之間繞動(dòng)，使纖維絲線上圓柱表面與下圓柱表面都能鍍到膜，保證了纖維鍍膜的全面性與均勻性，對(duì)纖維鍍膜的制造領(lǐng)域具有重要的意義。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的安裝示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的局部結(jié)構(gòu)圖；