[實(shí)用新型]一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922161531.X
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN211595779U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬毅;謝續(xù)友;黃先偉;俞越翎;張?zhí)┤A
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/18
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 周紅芳

1.一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，包括纖維絲線(11)、真空腔體（14）、升降臺（2）及靶材支座（12），其特征在于，所述真空腔體（14）內(nèi)部在位于靶材支座（12）一側(cè)的位置設(shè)有卷繞式纖維鍍膜裝置，所述卷繞式纖維鍍膜裝置包括卷繞裝置及絲架裝置，所述卷繞裝置對纖維絲線(11)進(jìn)行放卷，并通過絲架裝置進(jìn)行張開后再通過卷繞裝置對纖維絲線(11)進(jìn)行收卷；所述卷繞裝置包括電機(jī)（10）、支撐座（6）、小齒輪（9）、大齒輪（8）、傳動軸（7）、卷筒（4）及支撐座（6），所述小齒輪（9）設(shè)置在電機(jī)上，且小齒輪（9）與大齒輪（8）嚙合設(shè)置，所述傳動軸（7）穿設(shè)在支撐座（6）上，且其一端與大齒輪（8）相連，另一端與卷筒（4）相連；所述絲架裝置包括支撐架(17)、滑桿(19)及滑輪組，所述滑輪組包括滑輪一(16)、滑輪二(18)及滑輪三(20)，所述滑輪一(16)及滑輪二(18)分別設(shè)置在支撐架(17)上，所述滑輪三(20)設(shè)置在滑桿(19)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述卷筒(4)由上下兩線槽組成，其中下線槽底部設(shè)有截面為矩形的伸出端，并通過伸出端直接插入傳動軸(7)之中，從而實(shí)現(xiàn)連接與傳動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述滑桿(19)可在支撐架(17)上水平滑動，所述支撐架(17)上設(shè)有預(yù)緊螺釘(15)，通過預(yù)緊螺釘(15)能夠調(diào)節(jié)滑桿(19)的水平位置，從而起到預(yù)緊的作用。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卷繞式纖維鍍膜磁控濺射裝置，其特征在于，所述滑輪一(16)與滑輪三(20)設(shè)置在同一平面，滑輪二(18)與滑輪一(16)、滑輪三(20)均不在同一個(gè)平面上。