[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922159030.8
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN210640190U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳勇伶
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 盧春華

1.一種旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，包括固定架、轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于固定架的晶元旋轉(zhuǎn)臺、裝設(shè)于固定架的卡持機(jī)構(gòu)、第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；其特征在于：第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于固定架的多個(gè)絲桿、分別螺接套設(shè)在多個(gè)絲桿外側(cè)的多個(gè)螺母件、與所有螺母件連接的擴(kuò)晶臺，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)晶元旋轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動(dòng)，卡持機(jī)構(gòu)用于鎖住晶元旋轉(zhuǎn)臺；擴(kuò)晶臺轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有與晶元旋轉(zhuǎn)臺配合的擴(kuò)晶壓板，多個(gè)絲桿圍繞晶元旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：晶元旋轉(zhuǎn)臺設(shè)有多個(gè)滾珠滑套，擴(kuò)晶壓板設(shè)有分別與多個(gè)滾珠滑套配合的多個(gè)滾珠滑竿，滾珠滑套套設(shè)在滾珠滑竿的外側(cè)，滾珠滑竿與滾珠滑套滑動(dòng)設(shè)置，多個(gè)滾珠滑套圍繞晶元旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：固定架設(shè)有貫穿固定架的穿孔，晶元旋轉(zhuǎn)臺容設(shè)于穿孔內(nèi)；固定架轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有突伸入穿孔內(nèi)的多個(gè)支撐輪，支撐輪設(shè)有第一環(huán)槽，第一環(huán)槽圍繞支撐輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線設(shè)置；晶元旋轉(zhuǎn)臺設(shè)有環(huán)形突肋，多個(gè)支撐輪圍繞晶元旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置，環(huán)形突肋伸入支撐輪的第一環(huán)槽內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：支撐輪為第一軸承，第一環(huán)槽自第一軸承的外圈的側(cè)表面凹設(shè)而成。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：多個(gè)支撐輪包括正心輪及偏心輪，正心輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與穿孔的中心軸線平行設(shè)置，偏心輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與穿孔的中心軸線交叉設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)、第一環(huán)帶及多個(gè)第一帶輪，多個(gè)第一帶輪分別設(shè)置于多個(gè)絲桿，第一環(huán)帶套設(shè)在多個(gè)第一帶輪上，第一電機(jī)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)第一環(huán)帶或絲桿使得螺母件連帶擴(kuò)晶臺移動(dòng)；每一第一帶輪均配置有轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在固定架的兩個(gè)壓輪，第一帶輪位于配置的兩個(gè)壓輪之間，壓輪將第一環(huán)帶壓持在第一帶輪上，第一帶輪與配置的兩個(gè)壓輪之間的第一環(huán)帶呈V型。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：卡持機(jī)構(gòu)包括伸縮氣缸、與伸縮氣缸的活塞桿連接的卡柱；晶元旋轉(zhuǎn)臺可拆卸連接有多個(gè)卡頭，多個(gè)卡頭圍繞晶元旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線設(shè)置，卡頭設(shè)有用于容設(shè)卡柱的卡孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于固定架的第二電機(jī)，設(shè)置于第二電機(jī)的輸出軸的第二帶輪，套設(shè)于第二帶輪外側(cè)及晶元旋轉(zhuǎn)臺的外側(cè)的第二環(huán)帶；晶元旋轉(zhuǎn)臺設(shè)有容設(shè)第二環(huán)帶的第二環(huán)槽，第二電機(jī)經(jīng)由第二帶輪、第二環(huán)帶驅(qū)動(dòng)晶元旋轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：晶元旋轉(zhuǎn)臺可拆卸連接有與擴(kuò)晶壓板配合使用的擴(kuò)晶圓環(huán)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)晶裝置，其特征在于：固定架轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有軸體，軸體設(shè)有第一齒輪，第一電機(jī)的輸出軸連接有與第一齒輪嚙合的第二齒輪，第二齒輪的半徑小于第一齒輪的半徑；軸體裝設(shè)有主動(dòng)輪，第一環(huán)帶套設(shè)在主動(dòng)輪的外側(cè)。