[實用新型]晶片除塵工裝有效
| 申請號: | 201922158733.9 | 申請日: | 2019-12-05 |
| 公開(公告)號: | CN210722964U | 公開(公告)日: | 2020-06-09 |
| 發明(設計)人: | 徐興華;陳康;鮑旭偉;唐多 | 申請(專利權)人: | 金華市創捷電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
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| 地址: | 321000 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 除塵 工裝 | ||
本實用新型公開了晶片除塵工裝,包括底座和蓋板,所述底座和所述蓋板由鋼絲繩交織而成,所述底座上設置有若干凹槽,所述凹槽內設置有所述晶片,所述凹槽內設置有第一彈力網,所述第一彈力網的四周與所述凹槽的側壁相連,蓋板上設置有向著所述凹槽伸入的凸起,所述凸起的端部設置有第二彈力網,所述晶片被夾緊設置在所述第一彈力網和所述第二彈力網之間。我們吸風時,晶片會隨著第一彈力網和第二彈力網一起上下晃動,由于第一彈力網和第二彈力網的作用,晶片不會碰到底座或者蓋板,大大減小了晶片磕碰損壞的幾率。
技術領域
本實用新型涉及一種除塵機構,更具體的涉及一種用于晶片的除塵工裝。
背景技術
晶片在被銀之后,還要進行一次除塵,原來除塵都是通過原來的被銀夾具上進行。除塵過程是,利用設備發出超聲波,與晶片產生共振,從而將晶片表面的灰塵振落。
這種方法,抖落的灰塵會飄散在空氣中,很多情況下,還是會落到晶片上,本申請人的另一個發明中,我們公開了一種晶片除塵裝置,包括本體,所述本體內設置有工作臺,所述工作臺上設置有工裝,所述工裝內設置有晶片除塵夾具,所述晶片除塵夾具包括底座和蓋板,所述底座和所述蓋板上設置有通孔,且所述通孔的大小要滿足被除塵的晶片無法穿過所述通孔,所述底座上設置有若干凹槽,所述凹槽內設置有所述晶片,所述蓋板罩在所述底座上,所述工作臺上位于所述工裝的底部設置有吸塵管,所述吸塵管與吸塵器的進氣口相連。使用時,晶片被限定在凹槽和蓋板組成的空間內,然后晶片振動抖落的灰塵從凹槽內的通孔掉落。然后吸塵裝置通過管道將抖落的灰塵抽走,避免抖落的灰塵再次落到晶片上。
但是這種晶片除塵裝置,在吸塵裝置工作的時候,晶片會與底座和蓋板不斷碰撞摩擦,導致晶片表面受損,因此有必要改進。
發明內容
針對現有技術的不足,本實用新型提供一種晶片除塵裝置,能夠有效去除晶片上的灰塵,且不會損壞晶片。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:晶片除塵工裝,包括底座和蓋板,所述底座和所述蓋板由鋼絲繩交織而成,所述底座上設置有若干凹槽,所述凹槽內設置有所述晶片,所述凹槽內設置有第一彈力網,所述第一彈力網的四周與所述凹槽的側壁相連,蓋板上設置有向著所述凹槽伸入的凸起,所述凸起的端部設置有第二彈力網,所述晶片被夾緊設置在所述第一彈力網和所述第二彈力網之間。我們吸風時,晶片會隨著第一彈力網和第二彈力網一起上下晃動,由于第一彈力網和第二彈力網的作用,晶片不會碰到底座或者蓋板,大大減小了晶片磕碰損壞的幾率。
上述技術方案中,優選的,每個所述凹槽內設置有一個晶片。每個凹槽內一個晶片,避免了晶片之間的相互碰撞。
上述技術方案中,優選的,所述底座和所述蓋板上的網格大小滿足,晶片無法從網格中穿過。
上述技術方案中,優選的,所述網格為正方形。
本實用新型的有益效果是:我們吸風時,晶片會隨著第一彈力網和第二彈力網一起上下晃動,由于第一彈力網和第二彈力網的作用,晶片不會碰到底座或者蓋板,大大減小了晶片磕碰損壞的幾率。
附圖說明
圖1是本實用新型的示意圖(局部)。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細描述:
圖1中為了防止過密的線條導致圖片雜亂,我們對圖片上的線條做了簡化,底座和蓋板實際為網格狀,但在途中我們都用板狀表示.
參見圖1,晶片除塵工裝,包括底座1和蓋板2,所述底座1和所述蓋板2由鋼絲繩交織而成,所述底座1和所述蓋板2上的網格大小滿足,晶片無法從網格中穿過。所述網格為正方形。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





